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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2018-10-04
12:40
宮城 東北大学 c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価
山川愉生五月女 巧唐澤 嶺柳谷隆彦早大US2018-53
水晶振動子(QCM: Quartz Crystal Microbalance)を用いた液体の粘度評価において、測定感度を... [more] US2018-53
pp.25-29
US 2018-10-04
13:05
宮城 東北大学 c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
矢崎 花五月女 巧唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・吉田憲司千葉大)・柳谷隆彦早大US2018-54
小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効... [more] US2018-54
pp.31-35
US 2018-10-04
13:30
宮城 東北大学 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~
唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・遠藤結佳早大)・今川 誠森坂啓介鈴木 雄フルヤ金属)・柳谷隆彦早大US2018-55
 [more] US2018-55
pp.37-42
US 2018-05-21
15:20
東京 機械振興会館 レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子
唐澤 嶺柳谷隆彦早大US2018-15
 [more] US2018-15
pp.23-27
US 2017-07-27
15:40
岡山 岡山大学 ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価
山川愉生佐野耕平唐澤 嶺早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2017-42
液体の緩和特性の研究には,試料に対するMHz帯からGHz帯までの周波数掃引が求められる.しかし,従来のセンサであるQCM... [more] US2017-42
pp.61-66
US 2017-04-27
16:50
東京 電気通信大学 電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ
佐野耕平唐澤 嶺早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2017-12
 [more] US2017-12
pp.59-63
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