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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ICD, SDM
(共催)
2012-08-03
09:25
北海道 札幌市男女共同参画センター [招待講演]ナノカーボン配線 ~ 微細金属配線代替を目指して ~
梶田明広和田 真斎藤達朗北村政幸山崎雄一片桐雅之伊東 伴西出大亮松本貴士磯林厚伸鈴木真理子坂田敦子渡邉勝仁佐久間尚志酒井忠司超低電圧デバイス技研組合SDM2012-78 ICD2012-46
LSIの高集積化・微細化の進展により、そこに使用される配線幅は10nm台となってきており、細線効果による金属配線材料の抵... [more] SDM2012-78 ICD2012-46
pp.83-87
SDM 2011-02-07
12:40
東京 機械振興会館 CuSiN/Cu/Ti系バリア構造におけるCu表面酸化層のEM信頼性へ与える影響
林 裕美松永範昭和田 真中尾慎一渡邉 桂加藤 賢坂田敦子梶田明広柴田英毅東芝SDM2010-219
CuSiNにはエレクトロマイグレーション(EM)改善効果と配線抵抗の上昇がトレードオフになってしまうという問題があるが、... [more] SDM2010-219
pp.19-23
SDM 2010-02-05
14:00
東京 機械振興会館 低抵抗・高信頼Cu配線のためのシリサイドキャップ技術
林 裕美松永範昭和田 真中尾慎一坂田敦子渡邉 桂柴田英毅東芝SDM2009-187
Cu配線におけるシリサイドキャップはエレクトロマイグレーション(EM)信頼性を高める選択キャップ技術として有望であるが、... [more] SDM2009-187
pp.31-36
COMP 2007-03-05
09:00
東京 電気通信大学 k-集合合意問題を解く故障検知器
坂田 敦小野廣隆定兼邦彦山下雅史九大
 [more] COMP2006-50
pp.1-6
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