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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2012-03-05 13:30 |
東京 | 機械振興会館 | ALD/CVDによる次世代Cu配線用単層バリヤ/ライナーCo(W)膜 ○清水秀治（大陽日酸/東大）・嶋 紘平・百瀬 健（東大）・小林芳彦（大陽日酸）・霜垣幸浩（東大）  SDM2011-180 |
ULSIの微細化に伴う配線抵抗の増大を抑えるため、新たな材料が必要とされている。特に、Cu配線の側壁に形成されるバリヤ/... [more] | SDM2011-180 pp.25-29 |
| CPM, ED, LQE (共催) |
2007-10-11 15:20 |
福井 | 福井大学 | アンモニアガス中の水分によるInGaN LEDのEL発光強度への影響 ～ MOVPEによるLED構造の成長におけるアンモニアガス中の水分管理 ～ 万行大貴・小野宏之・○小林芳彦・松本 功・渋谷和信（大陽日酸） ED2007-160 CPM2007-86 LQE2007-61 |
[more] | ED2007-160 CPM2007-86 LQE2007-61 pp.25-28 |
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