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SDM 2011-07-04
16:40
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) グリーンレーザーによる積層構造シリコン薄膜の同時結晶化と薄膜デバイスへの応用
堀田昌宏奈良先端大/JST)・山崎浩司町田絵美奈良先端大)・石河泰明浦岡行治奈良先端大/JSTSDM2011-68
ガラス基板上に形成された2層積層構造シリコン薄膜に対して, グリーンレーザーアニール(GLA)による同時結晶化を行った.... [more] SDM2011-68
pp.103-108
SDM 2010-12-17
16:25
京都 京都大学(桂) 裏面からのレーザー照射による2層同時結晶化LTPS-TFTメモリの特性評価
松江将博市川和典赤松 浩神戸高専)・山崎浩司堀田昌宏浦岡行治奈良先端大SDM2010-200
これまで、a-Si/SiO2/a-Siを積層した基板にグリーンレーザーを照射した場合、2層同時結晶化することを報告し、さ... [more] SDM2010-200
pp.83-86
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