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すべての研究会開催スケジュール (検索条件: すべての年度)
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2020-02-28 14:00 |
東京 | 東京工科大片研BF1プレゼン室 （開催中止，技報発行あり） |
スパッタ法により低抵抗率AZO薄膜を得るためのZn添加方法の検討 ○神田琢哉・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・大河内康平・五十嵐光希・中野真聖（新潟大）  CPM2019-93 |
[more] | CPM2019-93 pp.9-12 |
| CPM | 2019-08-26 14:20 |
北海道 | 北見工業大学 1号館２F A-207講義室 | スパッタ法によるAZO膜堆積のための導電性酸化物焼結ターゲットの作製 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2019-39 |
本検討では，1500℃及び1600℃にて焼結させたZnOに2wt.%のAl2O3を添加した導電性を有するAZO焼結体を作... [more] | CPM2019-39 pp.9-12 |
| CPM, IEE-MAG (連催) |
2018-11-01 14:50 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望（新潟大） CPM2018-45 |
Ⅲ族元素をドープしたZnOの薄膜は，低抵抗の膜となることから，ITO薄膜に代わる透明導電膜用材料として注目されている。そ... [more] | CPM2018-45 pp.21-24 |
| CPM | 2017-07-22 10:57 |
北海道 | 北見工業大学第一総合研究棟２F多目的講義室 | Al添加ZnOターゲットとスパッタ法により作製される薄膜の関係性の検討 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2017-36 |
[more] | CPM2017-36 pp.79-83 |
| CPM | 2016-11-19 10:40 |
石川 | 金沢工大 扇が丘キャンパス | 希釈水素ガス雰囲気中におけるPd超薄膜を堆積したフタロシアニンマグネシウム薄膜の特性 ○清水英彦・新保一成・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2016-71 |
[more] | CPM2016-71 pp.49-53 |
| CPM | 2015-11-07 09:00 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるエレクトロクロミック素子用水素添加Mg-Ni薄膜の作製 ○清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2015-93 |
[more] | CPM2015-93 pp.47-50 |
| CPM | 2013-08-02 10:35 |
北海道 | 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 | Mg薄膜への添加金属による調光ミラー特性の検討 ○清水英彦・跡部雅富・下田竜也・小林和希・岩野春男・川上貴浩（新潟大） CPM2013-50 |
[more] | CPM2013-50 pp.57-61 |
| CPM | 2012-10-26 14:15 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討 ○名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2012-95 |
本研究では，市販ターゲットを用い，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法による膜堆積時の基板温度変化や堆積... [more] | CPM2012-95 pp.13-16 |
| CPM | 2012-10-27 09:35 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | 熱処理法によるSrAl2O4: Eu, Dy薄膜用下地膜の検討 ○小林和晃・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・川上貴浩（新潟大） CPM2012-105 |
本研究では，マグネトロンスパッタ法により，室温にて酸化Al下地膜を堆積させた後，対向ターゲット式スパッタ法により室温にて... [more] | CPM2012-105 pp.65-69 |
| CPM | 2012-10-27 10:00 |
新潟 | まちなかキャンパス長岡 | プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性 ○松井博章・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2012-106 |
本研究では，PEN基板上に様々な条件で作製したITO膜や有機EL素子を用いて機械的特性の検討を行った。その結果，ITO膜... [more] | CPM2012-106 pp.71-76 |
| CPM | 2011-10-26 13:25 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討 ○劉 暢・松井博章・木伏貴映・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2011-110 |
本研究では，PENやアクリルなどのプラスチック基板上に，様々な条件でITO膜を作製するとともに，有機EL素子に及ぼす影響... [more] | CPM2011-110 pp.5-9 |
| CPM | 2011-10-26 13:50 |
福井 | 福井大学 産学官連携本部研修室 | RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・富口祐輔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） CPM2011-111 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法（低電圧スパッタ法）に注目し，この方法により室温にてAZ... [more] | CPM2011-111 pp.11-15 |
| EMD, CPM, OME (共催) |
2011-06-30 16:55 |
東京 | 機械振興会館 | 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性 ○樫出 淳・名越克仁・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・永田向太郎・福嶋康夫・坪井 望・野本隆宏（新潟大） EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 |
本研究では，低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と，ターゲットの焼結温度に注目し，高エネルギー粒子が膜に... [more] | EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32 pp.59-63 |
| CPM | 2010-10-28 17:05 |
長野 | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 | FTS法にUBMS法を組み合わせた方法によるSrAl2O4:Eu, Dy薄膜の作製 ○久野敬史・齋藤 稔・小林和晃・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2010-97 |
本研究では，通常の対向ターゲット式スパッタ（FTS）法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ（UBMS）法を組... [more] | CPM2010-97 pp.33-37 |
| CPM | 2010-10-29 11:15 |
長野 | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 | 交互積層法によるMg-Cu薄膜の特性の検討 ○清水健児・丹内俊郎・松井博章・清水英彦・岩野春男・川上貴浩（新潟大） CPM2010-104 |
Mg膜とCu膜を交互に積層する方法により，堆積時の基板温度及びスパッタガス圧を変化させたMg-Cu薄膜を作製し，水素化を... [more] | CPM2010-104 pp.65-69 |
| CPM | 2010-10-29 11:50 |
長野 | 信州大学 工学部 地域共同研究センター３階研修室 | スパッタ法を用いた有機EL素子用低温堆積ITO薄膜の検討 ○中村陽平・劉 暢・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2010-105 |
本研究では，低温成膜したITO薄膜のデバイス応用への有効性を検討するため，アンバランスドマグネトロンスパッタ法に基板バイ... [more] | CPM2010-105 pp.71-75 |
| CPM | 2010-07-29 14:20 |
北海道 | 道の駅しゃり 会議室 | 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討 ○清水英彦・樫出 淳・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2010-32 |
[more] | CPM2010-32 pp.5-9 |
| CPM | 2009-10-30 10:50 |
富山 | 富山県立大学 | スパッタ法によるSrAl2O4薄膜の高速堆積法の検討 ○纐纈正和・久野敬史・齋藤 稔・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2009-100 |
[more] | CPM2009-100 pp.53-57 |
| CPM | 2009-10-30 11:15 |
富山 | 富山県立大学 | スパッタ法によるMg系合金薄膜の特性の検討 ○岡田智弘・清水健児・丹内俊郎・清水英彦・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大） CPM2009-101 |
[more] | CPM2009-101 pp.59-63 |
| CPM | 2008-10-30 14:55 |
新潟 | 新潟大学 | SBD法を用いたAZO薄膜作製における特性の検討 ○本間拓也・佐藤 薫・下村健晴・邵 力捷・清水英彦・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-79 |
マグネトロンスパッタ（MS）法によりZnO 系透明導電膜を作製する場合の膜作製プロセスに起因する問題点を明らかにするため... [more] | CPM2008-79 pp.23-28 |
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