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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2025-02-19 09:45 |
東京 | 東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都) | GHz帯パルスエコー法を用いたScAlN, GaN, PbTiO3, ZnO圧電薄膜や金属膜の機械的品質係数Qm評価法 ○島野耀康・柳谷隆彦（早大） |
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| US | 2025-02-19 10:05 |
東京 | 東京工業大学 大岡山キャンパス (東京都) | 周期的分極反転構造のScAlN薄膜を用いたベタ電極でのSAW励振 ○松村理司・島野耀康・大野直輝・柳谷隆彦（早大）・長 康雄（東北大） |
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| US | 2024-08-01 15:25 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | 多重エコー集約および誘電率の比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数推定法 ○島野耀康・浴田航平・柳谷隆彦（早大）  US2024-24 |
圧電薄膜の電気機械結合係数k2が大きいほどBAWフィルタやSAWフィルタの挿入損失は小さくなり帯域幅も広くなる。圧電薄膜... [more] | US2024-24 pp.37-42 |
| US | 2024-08-02 09:15 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出 ○鈴木基嗣・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-27 |
SMRは圧電層とブラッグ反射器から成るRFフィルタであるが、一般的に圧電層と反射器の特性を独立に評価することは難しい。我... [more] | US2024-27 pp.52-57 |
| US | 2024-08-02 11:35 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-32 |
BAWフィルタの中でもSMR型共振子はブラッグ反射器を介して基板に固定されているため放熱性があり耐電力性が高いという特長... [more] | US2024-32 pp.75-80 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:05 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
RFフィルタ用圧電薄膜のGHz帯音響摩擦の評価手法 ○島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-9 MW2024-33 OPE2024-12 EST2024-10 MWPTHz2024-16 |
RFフィルタやその他の弾性波デバイスにおいて、周波数領域での急峻性は重要な評価指標の一つである。本報告では急峻性を表す音... [more] | EMT2024-9 MW2024-33 OPE2024-12 EST2024-10 MWPTHz2024-16 pp.13-14 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:30 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
地デジ帯レクテナ応用に向けた広帯域圧電薄膜トランス ○浴田航平・木下紗里那・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 |
今後の通信帯域の増加に伴って、環境電磁波を用いたワイヤレス給電技術は、重要になってくると予想される。本研究では，出力側の... [more] | EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 pp.15-17 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:55 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
電気機械結合係数は、圧電デバイスの性能を決めるうえで重要な評価指標である。本報告では、圧電体固有の電気機械結合係数k33... [more] | EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 pp.18-19 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 16:50 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
ブラッグ反射器共振子は放熱性があり耐電力性が高い。一方でブラッグ反射器の低音響インピーダンス層には主に非晶質のSiO2を... [more] | EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 pp.56-57 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 (福岡県) | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-21 13:25 |
北海道 | 室蘭工業大学 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 ○島野耀康（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの... [more] | EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 pp.241-242 |
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