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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-12-17
14:30
京都 京都大学(桂) 200keV電子線照射による4H-SiCエピ膜中の多数キャリア密度の変化
野尻琢慎西野公三柳澤英樹松浦秀治阪電通大)・小野田 忍大島 武原子力機構SDM2010-195
添加量の異なるAl-doped 4H-SiC及びN-doped 4H-SiCエピ膜に200 keVの電子線を照射した場合... [more] SDM2010-195
pp.57-62
SDM 2009-12-04
10:00
奈良 奈良先端大 物質創成科学研究科 電子線照射によるAl-doped 6H-SiCエピ膜中のアクセプタ密度変化
野尻琢慎柳澤英樹明神善子松浦秀治阪電通大)・大島 武原子力機構SDM2009-153
電子線を照射したAl-doped 6H-SiCエピ膜に対して、van der pauw法を用いたホール効果測定により得ら... [more] SDM2009-153
pp.11-16
SDM 2009-12-04
10:20
奈良 奈良先端大 物質創成科学研究科 200keV電子線照射によるSiCエピ膜中の耐放射線性に関する研究 ~ ドープ量依存性 ~
柳澤英樹西野公三野尻琢慎松浦秀治阪電通大)・大島 武原子力機構SDM2009-154
SiC中のC原子のみを変位させる200keVの電子線照射が,Al-doped 4H-SiCとN-doped 4H-SiC... [more] SDM2009-154
pp.17-22
SDM 2009-12-04
10:40
奈良 奈良先端大 物質創成科学研究科 電子線照射によって生じるC変位によるAl-doped 4H-SiCエピ膜中のアクセプタ密度減少について
西野公三柳澤英樹野尻琢慎松浦秀治阪電通大)・大島 武原子力機構SDM2009-155
(事前公開アブストラクト) Al-doped 4H-SiCエピ膜に200 keVの電子線を照射する事でAl-doped ... [more] SDM2009-155
pp.23-28
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