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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2024-11-07 15:55 |
愛知 | 愛知工業大学 本山キャンパス | オフ角基板を用いたc軸傾斜エピタキシャルLiNbO3薄膜SMR ○内田拓希・柳谷隆彦（早大）  US2024-58 |
c軸傾斜LiNbO3 (LN) 薄膜を用いたBAWフィルタは、高い電気機械結合係数k2を有することが期待される。これまで... [more] | US2024-58 pp.35-40 |
| US | 2024-08-01 15:25 |
島根 | 松江テルサ | 多重エコー集約および誘電率の比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数推定法 ○島野耀康・浴田航平・柳谷隆彦（早大） US2024-24 |
圧電薄膜の電気機械結合係数k2が大きいほどBAWフィルタやSAWフィルタの挿入損失は小さくなり帯域幅も広くなる。圧電薄膜... [more] | US2024-24 pp.37-42 |
| US | 2024-08-02 09:15 |
島根 | 松江テルサ | GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出 ○鈴木基嗣・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-27 |
SMRは圧電層とブラッグ反射器から成るRFフィルタであるが、一般的に圧電層と反射器の特性を独立に評価することは難しい。我... [more] | US2024-27 pp.52-57 |
| US | 2024-08-02 11:35 |
島根 | 松江テルサ | エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-32 |
BAWフィルタの中でもSMR型共振子はブラッグ反射器を介して基板に固定されているため放熱性があり耐電力性が高いという特長... [more] | US2024-32 pp.75-80 |
| US | 2024-08-02 12:00 |
島根 | 松江テルサ | ScAlN薄膜と純AlN薄膜のGHz帯ヒステリシス特性 ○松村理司・花井彩香・柳谷隆彦（早大） US2024-33 |
ScAlNは電気機械結合係数kt2とQ値が共に高く、RFフィルタの材料として広く用いられている。そして、ScAlNを用い... [more] | US2024-33 pp.81-86 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:05 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
RFフィルタ用圧電薄膜のGHz帯音響摩擦の評価手法 ○島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-9 MW2024-33 OPE2024-12 EST2024-10 MWPTHz2024-16 |
RFフィルタやその他の弾性波デバイスにおいて、周波数領域での急峻性は重要な評価指標の一つである。本報告では急峻性を表す音... [more] | EMT2024-9 MW2024-33 OPE2024-12 EST2024-10 MWPTHz2024-16 pp.13-14 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:30 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
地デジ帯レクテナ応用に向けた広帯域圧電薄膜トランス ○浴田航平・木下紗里那・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 |
今後の通信帯域の増加に伴って、環境電磁波を用いたワイヤレス給電技術は、重要になってくると予想される。本研究では，出力側の... [more] | EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 pp.15-17 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:55 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
電気機械結合係数は、圧電デバイスの性能を決めるうえで重要な評価指標である。本報告では、圧電体固有の電気機械結合係数k33... [more] | EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 pp.18-19 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 16:50 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
ブラッグ反射器共振子は放熱性があり耐電力性が高い。一方でブラッグ反射器の低音響インピーダンス層には主に非晶質のSiO2を... [more] | EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 pp.56-57 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） US2023-56 |
現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと... [more] | US2023-56 pp.1-6 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-60 |
B AW (Bulk Acoustic 共振子の圧電層に単結晶薄膜を用いることで、Q 値や耐電力性が向上することが期待で... [more] | US2023-60 pp.24-29 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-62 |
[more] | US2023-62 pp.35-40 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出 ○茂木彩音・柳谷隆彦（早大） US2023-63 |
QCMは生体物質相互作用の検出に適している。しかし、共振周波数の低下が生体物質相互作用による質量付加効果によるものか表面... [more] | US2023-63 pp.41-46 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-64 |
RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱... [more] | US2023-64 pp.47-52 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| US | 2023-11-27 10:50 |
静岡 | 静岡大学 | 高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） US2023-45 |
[more] | US2023-45 pp.11-16 |
| US | 2023-11-27 11:15 |
静岡 | 静岡大学 | c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数 ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-46 |
[more] | US2023-46 pp.17-22 |
| US | 2023-11-27 13:45 |
静岡 | 静岡大学 | c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ～ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ～ ○冨山直樹・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2023-49 |
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] | US2023-49 pp.34-39 |
| US | 2023-11-27 16:10 |
静岡 | 静岡大学 | 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-54 |
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR（自立薄膜共振子）とSMR（ブラッグ反射器付き共振子）である。これらの... [more] | US2023-54 pp.61-66 |
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