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SDM 2007-03-15
15:25
東京 機械振興会館 大容量Chain-FeRAM用高信頼微細キャパシタプロセス技術
山川晃司尾崎 徹金谷宏行國島 巌玖村芳典下城義朗首藤 晋日高 修山田有紀山崎壮一浜本毅司白武慎一郎高島大三郎宮川 正東芝)・大槻純人東芝マイクロエレクトロニクス
 [more] SDM2006-259
pp.27-32
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