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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
EA, US
(併催)
2023-12-22
15:20
福岡 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 [ポスター講演]c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
石井直輝島野耀康柳谷隆彦早大US2023-65
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] US2023-65
pp.53-58
EA, US
(併催)
2022-12-22
16:50
広島 サテライトキャンパスひろしま [ポスター講演]SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定
近藤圭太石井直輝鈴木基嗣早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2022-65
一般的に音響ブラッグ反射器の特性評価には、ブラッグ反射層上に圧電薄膜を形成したSMR構造におけるインピーダンス特性が用い... [more] US2022-65
pp.80-85
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