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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2017-06-20
16:10
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 508(AB) 硫黄雰囲気硫化プロセスによるスパッタMoS2薄膜の低キャリア密度化
松浦賢太朗大橋 匠宗田伊理也東工大)・石原聖也明大)・角嶋邦之筒井一生東工大)・小椋厚志明大)・若林 整東工大
 [more]
SDM 2016-06-29
16:40
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS2膜の形成
大橋 匠松浦賢太朗東工大)・石原聖也日比野祐介澤本直美明大)・角嶋邦之筒井一生東工大)・小椋厚志明大)・若林 整東工大SDM2016-46
層状構造を有するMoS2は薄膜領域において高移動度を有することから,柔軟性や光透過性などを併せ持つ次世代の極微細Comp... [more] SDM2016-46
pp.75-78
SDM 2014-10-17
11:10
宮城 東北大学未来研 MOCVD法によるGeおよびGe1-xSnxのエピタキシャル成長
須田耕平石原聖也木嶋隆浩澤本直美明大)・町田英明石川真人須藤 弘気相成長)・大下祥雄豊田工大)・小椋厚志明大SDM2014-91
GeおよびGe1-xSnxは、高移動度トランジスタ、IV族光デバイス等への応用が期待されている。
我々は、t-C4H9... [more]
SDM2014-91
pp.41-45
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