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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED 2010-10-25
13:25
京都 宇治おうばくプラザ(京都大学) 三フッ化メタンプラズマ処理したシリコン電界放出電子源の表面状態と電子放出特性
後藤康仁遠藤恵介辻 博司京大)・石川順三中部大)・酒井滋樹日新イオン機器ED2010-129
三フッ化メタンプラズマ処理を施したシリコン電界放出電子源の電子放出特性の経時変化の原因を調べる目的で、同じ処理を施したシ... [more] ED2010-129
pp.7-10
ED 2008-08-05
09:25
静岡 静岡大学浜松キャンパス 電界電子放出特性その場解析アナログ回路の改良
後藤康仁河崎道人辻 博司石川順三京大ED2008-118
電界放出電子源の特性変動を調べるために開発している電界電子放出特性
その場解析装置のアナログ回路の改良を行った。
従... [more]
ED2008-118
pp.45-48
ED 2008-08-05
09:50
静岡 静岡大学浜松キャンパス シリコン微小電子源のイオンビーム空間電荷中和への応用
竹内光明JSTイノベーションプラザ京都)・後藤康仁辻 博司京大)・酒井滋樹日新イオン機器)・木本恒暢石川順三京大ED2008-119
半導体イオン注入用極低エネルギーイオンビームの発散抑制を目的として、シリコン微小電子源(Si-FEA)を用いたイオンビー... [more] ED2008-119
pp.49-52
ED 2006-08-04
09:50
大阪 大阪大学 コンベンションセンター 窒化ハフニウムを陰極とした電界放出電子源の作製
後藤康仁瀬戸島範幸神澤太郎小島俊彦藤井亮一辻 博司石川順三京大
 [more] ED2006-129
pp.61-62
ED 2005-12-22
13:35
東京 機械振興会館 S-Kチャートによる電界放出デバイス評価技術
後藤康仁辻 博司石川順三京大
S-Kチャートに対して描かれた等仕事関数線、等曲率半径線に対する検討を行った。異なる$k$の値(巨視的な電圧電界変換係数... [more] ED2005-184
pp.11-14
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