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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 10:30 |
京都 | 京都大学 | B+およびB10H14+注入Si基板の軟X線照射による活性化 ○部家 彰・草壁 史・平野翔大・松尾直人・神田一浩（兵庫県立大）  EID2014-15 SDM2014-110 |
[more] | EID2014-15 SDM2014-110 pp.13-16 |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 16:00 |
京都 | 京都大学 | 軟X線源を用いたSiOx中nc-Siの形成 ○草壁 史・平野翔大・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏・宮本修治（兵庫県立大）・小濱和之・伊藤和博（阪大） EID2014-32 SDM2014-127 |
[more] | EID2014-32 SDM2014-127 pp.99-102 |
| SDM | 2013-12-13 13:30 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線照射による半導体薄膜の低温結晶化 ～ 光子エネルギー依存性とSiGe多層膜のTEM観察 ～ ○草壁 史・丸山裕樹・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・伊藤和博・高橋 誠（阪大） SDM2013-126 |
a-Ge, a-SiGe 膜の軟 X線照射結晶化における照射光子エネルギー依存性を検討した。Ge 膜において蓄積リング電... [more] | SDM2013-126 pp.61-66 |
| SDM | 2013-12-13 13:50 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発 ○部家 彰・草壁 史・丸山裕樹・松尾直人・神田一浩（兵庫県立大）・野口 隆（琉球大） SDM2013-127 |
10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性化について検討した。... [more] | SDM2013-127 pp.67-72 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 09:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］軟X線照射のみによる半導体非晶質膜の低温結晶化 ○松尾直人・部家 彰・望月孝晏・宮本修治・神田一浩（兵庫県立大） SDM2012-11 OME2012-11 |
[more] | SDM2012-11 OME2012-11 pp.49-54 |
| SDM | 2011-12-16 16:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発 ○部家 彰・野々村勇希・木野翔太・松尾直人・天野 壮・宮本修治・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・都甲 薫・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2011-145 |
結晶化が起こるには、結晶核形成と結晶粒成長の2つのプロセスを経る必要があるが、一般に結晶核形成には多くのエネルギーを必要... [more] | SDM2011-145 pp.71-76 |
| SDM | 2008-12-05 11:30 |
京都 | 京都大学桂キャンパスA1-001 | アンジュレータ光源を使用した軟X線励起によるa-Si膜表面のSi原子移動 高梨泰幸・部家 彰・○松尾直人・神田一浩（兵庫県立大） SDM2008-187 |
アンジュレータ光源から発生した軟X線をa-Si膜(膜厚1, 50nm)に照射したときの特性変化を検討した．照射前後で表面... [more] | SDM2008-187 pp.17-20 |
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