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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2015-08-11
11:20
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 Radical-Enhanced ALD法によって形成したAlジャーマネイト/Ge界面とその近傍の欠陥評価
成田英史弘前大)・山田大地福田幸夫諏訪東京理科大)・鹿糠洋介岡本 浩弘前大CPM2015-44
次世代のC-MOSデバイスの候補としてGe-MIS構造が注目されているが、界面の品質向上が課題とされている。われわれはこ... [more] CPM2015-44
pp.67-70
CPM 2011-08-10
16:35
青森 弘前大学 文京町キャンパス 低温と室温におけるコンダクタンス法の組合せによるGe-MIS構造の界面準位密度評価
岩崎拓郎佐藤真哉鈴木聡一郎小野俊郎弘前大)・福田幸夫諏訪東京理科大)・岡本 浩弘前大CPM2011-64
次世代のMOSデバイスに向けてGe-MIS構造が注目されているが、界面の品質向上が課題とされている。我々はこれまでECR... [more] CPM2011-64
pp.43-46
CPM 2011-08-10
17:00
青森 弘前大学 文京町キャンパス ECRプラズマ法によって作製したGe-MIS構造のDLTSとC-t測定による評価
佐藤真哉岩崎拓郎鈴木聡一郎小野俊郎弘前大)・福田幸夫諏訪東京理科大)・岡本 浩弘前大CPM2011-65
近年Geを用いたMIS構造が次世代のデバイス候補として注目を集めているが、界面の品質向上が課題となっている。これまでに我... [more] CPM2011-65
pp.47-50
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