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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2018-06-25
16:35
愛知 名古屋大学 VBL3F X線光電子分光法によるY2O3/SiO2界面におけるシリケート化反応およびダイポールの評価
藤村信幸・○大田晃生池田弥央牧原克典宮崎誠一名大SDM2018-26
 [more] SDM2018-26
pp.47-51
SDM 2017-06-20
14:35
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 508(AB) XPSによるHigh-k/SiO2界面の化学構造およびダイポールの評価
藤村信幸大田晃生池田弥央牧原克典宮崎誠一名大SDM2017-25
 [more] SDM2017-25
pp.19-23
SDM 2016-06-29
14:10
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 XPSによるSiO2/半導体界面の電位変化およびダイポールの定量
藤村信幸大田晃生渡辺浩成牧原克典宮崎誠一名大SDM2016-40
X線光電子分光法において、価電子帯信号と二次光電子信号を組み合わせることで、SiO2、4H-SiC、およびSiの真空準位... [more] SDM2016-40
pp.43-47
SDM 2016-06-29
14:45
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 リモート酸素プラズマ支援CVDによる低温SiO2薄膜形成
グェンスァン チュン藤村信幸竹内大智大田晃生牧原克典池田弥央宮崎誠一名大SDM2016-41
SiH4と励起したAr希釈O2を用いたリモート酸素プラズマ支援CVD(O2-RPCVD)により水素終端したSi表面上にS... [more] SDM2016-41
pp.49-52
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