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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2018-10-17
15:20
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Low-Temperature Formation of Ohmic Contact for Si TFT Fabrication by Excimer Laser Doping with Phosphoric Acid Coating
Kaname ImokawaKyushu Univ)・Nozomu TanakaKyushu Univ.)・Akira SuwaKyushu Univ)・Daisuke NakamuraTaizoh SadohKyushu Univ.)・Tetsuya GotoNew Industry Creation Hatchery Center, Tohoku Univ.)・Hiroshi IkenoueKyushu UnivSDM2018-54
Si TFTのコンタクト抵抗形成には、イオン注入やCVDなどの真空、高温(~500度)のプロセスが必要とされ,プリンタブ... [more] SDM2018-54
pp.11-14
SDM, OME
(共催)
2016-04-08
16:50
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT
原田大成我喜屋風太安次富卓哉岡田竜弥野口 隆琉球大)・野田勘治諏訪 輝ギガフォトン)・池上 浩九大)・奥山哲雄東洋紡SDM2016-10 OME2016-10
 [more] SDM2016-10 OME2016-10
pp.39-41
ED 2006-12-08
13:25
東京 機械振興会館 絶縁ゲートにより制御するホットエレクトロントランジスタの作製
諏訪 輝長谷川貴史日野高宏宮本恭幸古屋一仁東工大
 [more]
ED, MW
(共催)
2006-01-18
15:20
東京 機械振興会館 ゲートにより制御するホットエレクトロントランジスタにおける電流量の増大
鹿嶋一生諏訪 輝東工大)・宮本恭幸古屋一仁東工大/JST
 [more] ED2005-196 MW2005-150
pp.23-28
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