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SDM 2023-06-26
13:30
広島 広島大学 ナノデバイス研究所 [依頼講演]オペランドレーザー励起光電子顕微鏡による強誘電体キャパシタの非破壊イメージングの開拓
藤原弘和糸矢祐喜小林正治バレイユ セドリック辛 埴谷内敏之東大SDM2023-32
HfO$_2$ 系強誘電体キャパシタの特性変動メカニズムを解明するために、in-situ 電気特性評価システムが実装され... [more] SDM2023-32
pp.19-22
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