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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2020-09-28
13:50
ONLINE オンライン開催 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる材料均質性評価のための高速スキャン法
大橋雄二横田有為山路晃広吉野将生黒澤俊介鎌田 圭佐藤浩樹豊田智史花田 貴吉川 彰東北大US2020-34
直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムにおいて高速スキャン法を用いた新しい材料均質性評価法を提案し,その... [more] US2020-34
pp.41-44
SDM 2016-06-29
15:05
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 タンタル酸ナノシート/SiO2/Si界面バンドオフセットにおけるUV照射の効果
速水脩平豊田智史福田勝利京大)・菅谷英生パナソニック)・森田将史中田明良内本喜晴松原英一郎京大SDM2016-42
ReRAMの材料設計を行う際の指針として、絶縁層とSi基板の界面バンドオフセットはリーク電流の抑制を考える上で重要なパラ... [more] SDM2016-42
pp.53-58
SDM 2006-06-22
10:30
広島 広島大学, 学士会館 角度分解光電子分光を用いたSiO2/SiN積層膜の窒素濃度分布の解析
豊田智史岡林 潤尾嶋正治東大)・劉 国林劉 紫園池田和人臼田宏治半導体理工学研究センター
酸窒化膜の窒素濃度分布および化学結合状態はトランジスタの特性および構造を理解するために重要である。角度分解光電子分光法は... [more] SDM2006-55
pp.77-80
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