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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2020-02-07
09:20
東京 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室(419号室) BTA-H2O2溶液中Cu, Co表面の保護膜形成に関する考察
近藤英一遠山真央竹内翔太金 蓮花山梨大)・小篠涼太濱田聡美島 昇平檜山浩國荏原製作所SDM2019-88
 [more] SDM2019-88
pp.1-3
SDM 2016-01-22
11:15
東京 東京大学 山上会館 アミドネート1価Cu錯体を用いた超臨界流体中Cu堆積
Md Rasadujjaman渡邉満洋山梨大)・須藤 弘町田英明気相成長)・近藤英一山梨大SDM2015-110
 [more] SDM2015-110
pp.9-12
SDM 2016-01-22
11:35
東京 東京大学 山上会館 BTA-H2O2溶液中におけるCu表面のその場エリプソメトリ
川上達也近藤英一渡邉満洋山梨大)・濱田聡美嶋 昇平檜山浩國荏原製作所SDM2015-111
Cu CMP中に,Cu表面は酸化剤又は錯化剤によって酸化されている.酸化の抑制のため,腐食防止剤がスラリー中に共添加され... [more] SDM2015-111
pp.13-15
US 2011-10-31
13:00
山梨 山梨大学甲府キャンパス 情報メディア館 5F 多目的ホール 超臨界CO2中における弾性表面波共振子の共振特性
林 克洋垣尾省司近藤英一山梨大US2011-58
気体と液体の性状を有する超臨界流体を利用した,マイクロ・ナノ材料加工に関する研究開発が活発に行われているが,反応速度の加... [more] US2011-58
pp.1-6
CPM 2010-07-29
15:50
北海道 道の駅しゃり 会議室 [招待講演]超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ~ 細孔の評価と洗浄 ~
近藤英一山梨大CPM2010-35
超臨界二酸化炭素は,ナノレベルの浸透性,表面張力がゼロ,溶媒能などをあわせ持つ特異な流体である.これらの特長は多孔質低誘... [more] CPM2010-35
pp.23-28
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