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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2023-02-28
11:30
東京 東京工科大学 + オンライン開催
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
高周波マグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素薄膜の光起電力特性に及ぼす水素の効果
西田竜也佐藤聖能小林康之遠田義晴中澤日出樹弘前大
 [more]
CPM 2022-08-04
16:15
北海道 北見工業大学 マグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素膜特性への水素ガスの効果
西田竜也谷口 颯佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2022-15
炭化ホウ素(B4C)ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタ法によりアモルファスB4C薄膜およびH2を導入して水素化ア... [more] CPM2022-15
pp.14-17
CPM 2021-10-27
13:20
ONLINE オンライン開催 プラズマ化学気相成長法によるSi及びN添加ダイヤモンドライクカーボン膜の光学的特性および電気的特性に及ぼすH₂及びAr希釈の効果
佐々木祐弥長内公哉大谷優介室野優太佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史中澤日出樹弘前大CPM2021-26
希釈ガスにAr及びH₂を用いたプラズマ化学気相成長法によりケイ素(Si)及び窒素(N)を添加したダイヤモンドライクカーボ... [more] CPM2021-26
pp.23-28
CPM 2020-10-29
15:10
ONLINE オンライン開催 マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果
谷口 颯郡山春人小林康之遠田義晴弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2020-17
 [more] CPM2020-17
pp.23-26
CPM 2019-11-07
15:00
福井 福井大学 文京キャンパス 窒素を添加したDLC膜特性へのアニール効果
長内公哉中村和樹郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2019-46
希釈ガスにH2を用いたプラズマ化学気相成長法により窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(N-DLC)膜を作製し、真空... [more] CPM2019-46
pp.9-14
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大CPM2018-52
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2018-08-09
14:30
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
中村和樹大橋 遼弘前大)・横山 大田島圭一郎遠藤則史末光眞希東北大)・遠田義晴小林康之鈴木裕史・○中澤日出樹弘前大CPM2018-8
希釈ガスにH_2を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したSi添加DLC(Si-DLC)薄膜の化学結合状態、電気的・光... [more] CPM2018-8
pp.1-6
CPM 2018-08-09
14:50
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/AlN/Si(110)基板上グラフェンの成長
中澤日出樹成田舜基奈良友奎遠田義晴弘前大CPM2018-9
3ºオフ角を有するSi(110)基板上に、レーザーアブレーション法を用いて様々な成長条件でAlN薄膜を作製した結果、レー... [more] CPM2018-9
pp.7-12
CPM 2018-08-10
11:05
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si基板上SiO2薄膜の電子線照射による還元反応
藤森敬典千田陽介増田悠右氏家夏樹遠田義晴弘前大CPM2018-18
20 nm~100 nm厚のSiO_{2}膜を有するSi(100)表面に様々な条件で電子線照射し、その後フッ酸処理や真 ... [more] CPM2018-18
pp.47-52
CPM 2018-08-10
11:25
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Zr系金属ガラス表面の元素組成と化学結合状態
郡山春人藤森敬典遠田義晴弘前大)・富樫 望アダマンド並木精密宝石CPM2018-19
Zr系金属ガラスであるVit 105合金(Zr_{52.5}Cu_{17.9}Ni_{14.6}Al_{10}Ti_{5... [more] CPM2018-19
pp.53-56
CPM 2015-08-10
13:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性への基板バイアスの影響
土屋政人村上和輝佐藤達人高見貴弘遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2015-32
CH4、N2および希釈ガスとしてArを用い、基板バイアスにパルスバイアスを用いたRFプラズマCVD法により、基板パルスバ... [more] CPM2015-32
pp.7-10
CPM 2015-08-11
11:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響
高見貴弘和田 誠遠田義晴弘前大CPM2015-45
特定の条件下で形成されたシリコン酸窒化膜(SiON膜)において、X線光電子分光の内殻準位スペクトルの化学シフトピーク位置... [more] CPM2015-45
pp.71-74
CPM 2011-08-11
09:50
青森 弘前大学 文京町キャンパス シリコン酸化膜の不均一な熱分解
遠田義晴小川可乃永井孝幸弘前大CPM2011-68
Si(100)基板上に形成された20nm膜厚のシリコン熱酸化膜を,真空中1100℃で加熱し,これにより生ずる酸化膜の熱分... [more] CPM2011-68
pp.61-64
CPM 2009-08-10
16:30
青森 弘前大学 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
遲澤遼一中澤日出樹奥崎知秀佐藤直之遠田義晴弘前大)・末光眞希東北大CPM2009-37
KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-li... [more] CPM2009-37
pp.19-24
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