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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2021-04-23
15:10
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用
都甲 薫筑波大SDM2021-4 OME2021-4
 [more] SDM2021-4 OME2021-4
pp.15-18
SDM, OME
(共催)
2020-04-13
15:20
沖縄 沖縄県青年会館
(開催中止,技報発行なし)
[招待講演]多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用
都甲 薫筑波大
 [more]
SDM, OME
(共催)
2014-04-10
15:30
沖縄 沖縄県青年会館 [招待講演]非晶質絶縁体上における大粒径Ge(111)薄膜のAl誘起低温成長
都甲 薫末益 崇筑波大SDM2014-6 OME2014-6
ガラス等の非晶質絶縁基板上でGe結晶薄膜の方位制御を可能とする「Al誘起成長法」について紹介する。我々は、Al誘起成長G... [more] SDM2014-6 OME2014-6
pp.27-29
SDM, OME
(共催)
2014-04-10
16:00
沖縄 沖縄県青年会館 絶縁膜上のAl誘起成長Ge層に与える基板効果とフレキシブル基板応用
大谷直生都甲 薫沼田諒平中沢宏紀筑波大)・宇佐美徳隆名大)・末益 崇筑波大SDM2014-7 OME2014-7
 [more] SDM2014-7 OME2014-7
pp.31-32
SDM, OME
(共催)
2014-04-10
16:20
沖縄 沖縄県青年会館 Al誘起成長法による大粒径Ge/導電膜/ガラス構造の形成
中沢宏紀都甲 薫筑波大)・宇佐美徳隆名大)・末益 崇筑波大SDM2014-8 OME2014-8
 [more] SDM2014-8 OME2014-8
pp.33-34
SDM, OME
(共催)
2014-04-10
16:40
沖縄 沖縄県青年会館 Si(111)基板上BaSi2エピタキシャル膜の結晶・光学特性評価とガラス基板上への展開
高部涼太都甲 薫沼田諒平筑波大)・原 康祐名大)・馬場正和Weijie Du筑波大)・宇佐美徳隆名大)・末益 崇筑波大SDM2014-9 OME2014-9
 [more] SDM2014-9 OME2014-9
pp.35-37
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
18:15
沖縄 沖縄県青年会館 Multi-Layered SiGe-on-Insulator Structures by Rapid-Melting-Growth
Yuki TojoRyo MatsumuraHiroyuki YokoyamaMasashi KurosawaKaoru TokoTaizoh SadohMasanobu MiyaoKyushu Univ.
 [more]
SDM 2011-12-16
16:00
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発
部家 彰野々村勇希木野翔太松尾直人天野 壮宮本修治神田一浩望月孝晏兵庫県立大)・都甲 薫佐道泰造宮尾正信九大SDM2011-145
結晶化が起こるには、結晶核形成と結晶粒成長の2つのプロセスを経る必要があるが、一般に結晶核形成には多くのエネルギーを必要... [more] SDM2011-145
pp.71-76
SDM, OME
(共催)
2010-04-23
15:20
沖縄 沖縄県青年会館 インプリントSi種結晶からの溶融エピタキシャル成長による単結晶GOIの無欠陥形成
坂根 尭都甲 薫田中貴規佐道泰造宮尾正信九大SDM2010-12 OME2010-12
インプリント誘起Si(111)マイクロ結晶(~1 μmφ)を結晶成長シードとしたGeの溶融エピタキシャル成長法を考案し、... [more] SDM2010-12 OME2010-12
pp.53-57
SDM, ED
(共催)
2009-06-26
09:00
海外 海雲台グランドホテル(釜山、韓国) [招待講演]Lateral liquid-phase epitaxy of Ge on insulator using Si seed for ultrahigh speed transistor
Taizoh SadohTakanori TanakaYasuharu OhtaKaoru TokoMasanobu MiyaoKyushu Univ.ED2009-91 SDM2009-86
Lateral liquid-phase epitaxy of Ge-on-insulator (GOI) using ... [more] ED2009-91 SDM2009-86
pp.177-180
SDM, OME
(共催)
2008-04-12
10:00
沖縄 沖縄県青年会館 次世代TFTに向けたa-Ge/石英の低温固相成長
中尾勇兼都甲 薫九大)・野口 隆琉球大)・佐道泰造九大SDM2008-17 OME2008-17
石英上における非晶質Ge薄膜の低温固相成長(≦500℃)を検討した。ラマン散乱分光測定より、多結晶Ge薄膜には伸張歪み(... [more] SDM2008-17 OME2008-17
pp.83-88
SDM, OME
(共催)
2008-04-12
11:25
沖縄 沖縄県青年会館 金属触媒誘起固相成長法による多結晶Ge/絶縁膜の低温形成 ~ 電界印加効果、触媒種効果 ~
萩原貴嗣都甲 薫佐道泰造九大SDM2008-20 OME2008-20
次世代TFTのチャネル材料として期待される多結晶Ge/絶縁膜の極低温形成(≦250℃)を目指し金属触媒誘起固相成長法を検... [more] SDM2008-20 OME2008-20
pp.101-106
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