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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2021-04-23
14:20
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
絶縁基板上Si薄膜の結晶化における課題
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2021-3 OME2021-3
概要

現在、ポリSi TFTは、LTPS(低温ポリSi)TFTともよばれ、その優れた素子特性により、携帯電話、スマ... [more]
SDM2021-3 OME2021-3
pp.13-14
SDM, OME
(共催)
2020-04-13
14:00
沖縄 沖縄県青年会館
(開催中止,技報発行なし)
青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属ソース/ドレイン構造TFT
岡田竜弥野口 隆琉球大
これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることでa-Si 膜が結晶化可能であり、平坦な結晶化Si ... [more]
SDM, OME
(共催)
2020-04-13
14:50
沖縄 沖縄県青年会館
(開催中止,技報発行なし)
絶縁基板上Si薄膜の結晶化における課題
野口 隆岡田竜弥琉球大
これ ま で 、 共同研究 を 通 し て LTPS 技術 の 課題 を 解決 す べ く 、 青色 半導体 レーザ ア... [more]
SDM, OME
(共催)
2018-04-07
10:40
沖縄 沖縄県青年会館 [招待講演]金属ソース/ドレイン構造の低温ポリSi TFTs
野口 隆岡田竜也琉球大SDM2018-4 OME2018-4
 [more] SDM2018-4 OME2018-4
pp.15-18
ET 2017-03-10
14:00
愛媛 新居浜工業高等専門学校 デジタルスケッチ陰影付け描画学習支援システムの構築
野口隆裕曽我真人和歌山大ET2016-101
本研究は,陰影の描画の初心者に対して,描画支援と描画学習支援の2側面から陰影付けの描画学習支援システムの開発を試みたもの... [more] ET2016-101
pp.43-48
SDM, OME
(共催)
2016-04-08
16:50
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT
原田大成我喜屋風太安次富卓哉岡田竜弥野口 隆琉球大)・野田勘治諏訪 輝ギガフォトン)・池上 浩九大)・奥山哲雄東洋紡SDM2016-10 OME2016-10
 [more] SDM2016-10 OME2016-10
pp.39-41
SDM, OME
(共催)
2016-04-09
11:40
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 ポリシリコンTFTのスパッタSiO2ゲート絶縁膜への低温アニール効果
玉城 光井村公彦岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2016-16 OME2016-16
 [more] SDM2016-16 OME2016-16
pp.67-69
SDM, OME
(共催)
2016-04-09
12:05
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 レーザーアニール技術の高性能パワーMOSFETsプロセスへの応用
陳 訳岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2016-17 OME2016-17
 [more] SDM2016-17 OME2016-17
pp.71-75
OME, SDM
(共催)
2015-04-30
13:25
沖縄 大濱信泉記念館多目的ホール 青色半導体レーザアニール中Si膜の温度分布解析
岡田竜弥神村盛太野口 隆琉球大SDM2015-14 OME2015-14
これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることで20-500 nm 厚のa-Si 膜が結晶化可能で... [more] SDM2015-14 OME2015-14
pp.53-55
OME, SDM
(共催)
2015-04-30
13:50
沖縄 大濱信泉記念館多目的ホール レーザーアニールによる低抵抗結晶化Si薄膜
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2015-15 OME2015-15
 [more] SDM2015-15 OME2015-15
pp.57-61
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:30
沖縄 沖縄県青年会館 O2混合Arスパッタにより室温成膜したSiO2膜の電気特性評価
井村公彦・○岡田竜弥下田清治杉原弘也野口 隆琉球大SDM2014-13 OME2014-13
フレキシブルディスプレイの作製において,良質の絶縁膜をプラスチックなどの低耐熱性基板上に形成することが求められる.本研究... [more] SDM2014-13 OME2014-13
pp.55-57
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:50
沖縄 沖縄県青年会館 BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT
下田清治杉原弘也井村公彦岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-14 OME2014-14
低コストでの製造プロセスによるpoly-Si TFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、... [more] SDM2014-14 OME2014-14
pp.59-61
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
11:10
沖縄 沖縄県青年会館 ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性
コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ知念 怜杉原弘也岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-15 OME2014-15
ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール(BLDA)を施したSi膜の光伝導性につ... [more] SDM2014-15 OME2014-15
pp.63-65
SDM 2013-12-13
13:00
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 [招待講演]BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2013-125
 [more] SDM2013-125
pp.55-59
SDM 2013-12-13
13:50
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発
部家 彰草壁 史丸山裕樹松尾直人神田一浩兵庫県立大)・野口 隆琉球大SDM2013-127
10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性化について検討した。... [more] SDM2013-127
pp.67-72
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
16:30
沖縄 沖縄県青年会館 Influence of grain size deviation on device characteristics of TFTs and displays for OLED driving
Katsuya ShiraiTakashi NoguchiUniv. of the Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:15
沖縄 沖縄県青年会館 Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing
Tatsuya OkadaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTakuma NishinoharaTomoyuki MukaeKeisuke YagiTakashi NoguchiUniv. Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:30
沖縄 沖縄県青年会館 Characterization of Optimized Sputtered Poly-Si Films by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing for High Performance Displays
Takuma NishinoharaJ. D. MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaTakashi NoguchiUniv. of the Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:45
沖縄 沖縄県青年会館 Effective Annealing of Si Films as an advanced LTPS
Takashi NoguchiTakuma NishinoharaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaUniv. Ryukyus
 [more]
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:10
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによる薄膜シリコンの結晶状態の制御
白井克弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ鈴木俊治岡田竜弥野口 隆琉球大)・松島英樹橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-7 OME2012-7
 [more] SDM2012-7 OME2012-7
pp.33-36
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