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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2022-02-04 09:05 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価 ○百瀬 健・金 泰雄・鄧 玉斌・出浦桃子（東大）・松尾 明・山口述夫（キヤノンアネルバ）・霜垣幸浩（東大）  SDM2021-74 |
半導体集積回路のCu配線における極薄バリアの開発には，バリア性を定量的かつ簡潔に評価する手法が不可欠である。そのため我々... [more] | SDM2021-74 pp.1-4 |
| SDM | 2016-01-22 13:55 |
東京 | 東京大学 山上会館 | Fabrication of highly reliable Co(W) thin film by physical vapor deposition for next generation ULSI Cu interconnects ○Taewoong Kim・Kouta Tomita・Takeshi Momose（Univ. of Tokyo）・Takaaki Tsunoda・Takayuki Moriwaki（CANON ANELVA）・Yukihiro Shimogaki（Univ. of Tokyo） SDM2015-114 |
[more] | SDM2015-114 pp.25-28 |
| LQE, OPE (共催) |
2011-06-30 11:10 |
東京 | 機械振興会館 | 化合物半導体導波路を用いた波長変換素子の進展 ○松下智紀・金 泰雄・近藤高志（東大） OPE2011-19 LQE2011-19 |
AlGaAs導波路を用いた1.55~$\mu$m帯波長変換素子について報告する。周期空間反転AlGaAs導波路は、AlG... [more] | OPE2011-19 LQE2011-19 pp.21-24 |
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