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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:10
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによる薄膜シリコンの結晶状態の制御
白井克弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ鈴木俊治岡田竜弥野口 隆琉球大)・松島英樹橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-7 OME2012-7
 [more] SDM2012-7 OME2012-7
pp.33-36
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:30
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化
岡田竜弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ白井克弥鈴木俊治野口 隆琉球大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-8 OME2012-8
色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶... [more] SDM2012-8 OME2012-8
pp.37-39
SDM, OME
(共催)
2012-04-28
11:50
沖縄 沖縄県青年会館 高性能ポリシリコンTFTに向けたスパッタ成膜したリンドープシリコン膜の結晶化
西ノ原拓磨ジャン デデュウ ムジラネザ白井克弥鈴木俊治岡田竜弥野口 隆琉球大)・大鉢 忠同志社大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-18 OME2012-18
スパッタ条件を工夫して室温で成膜したリンドープシリコン膜に対して, 青色半導体レーザアニーリング(BLDA)による熱処理... [more] SDM2012-18 OME2012-18
pp.79-82
ED, SDM
(共催)
2010-07-02
10:00
東京 東工大 大岡山キャンパス レーザー、熱アニーリング後のドープSi膜の電気的活性化
野口 隆・○鈴木俊治琉球大ED2010-85 SDM2010-86
ドープしたアモルファスSi膜に対して、RTA、レーザーアニールを施し有効な結晶化を行った。得られた膜の電気的(4探針法、... [more] ED2010-85 SDM2010-86
pp.149-153
OME, SDM
(共催)
2009-04-24
16:40
佐賀 産総研九州センター大会議室 p型Si薄膜の結晶化と電気特性
野口 隆宮平和幸琉球大)・鈴木俊治SENSDM2009-6 OME2009-6
 [more] SDM2009-6 OME2009-6
pp.25-28
SDM, OME
(共催)
2008-04-11
10:35
沖縄 沖縄県青年会館 ガラス基板上の不純物ドープSi薄膜のアニールによる電気的活性化
野口 隆宮平知幸川井健司琉球大)・鈴木俊治佐藤正輝SENSDM2008-4 OME2008-4
高濃度にホウ素やリンをドープしたSi薄膜に対して、紫外光でパルスであるエキシマレーザアニール(ELA)が施され、その導電... [more] SDM2008-4 OME2008-4
pp.17-22
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