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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
R
,
ED
,
SDM
(共催)
2005-11-25
15:30
大阪
中央電気倶楽部
水素プラズマ照射されたn型窒化ガリウムの電気特性評価
○
須田将之
（
都立大
）・
中村成志
・
須原理彦
・
奥村次徳
（
都立大/首都大東京
）
プラズマ照射によるn-GaNの電気特性への影響を評価した．水素プラズマ照射されたSi doped n-GaNにおいて，低...
[more]
R2005-45
ED2005-180
SDM2005-199
pp.43-46
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