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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM, ED, SDM
(共催)
2023-05-19
16:05
愛知 名古屋工大
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
Si上Ge層の固相成長におけるGeエピタキシャル緩衝層の効果
古家聖輝葛谷樹矢Jose A. Piedra-Lorenzana飛沢 健山根啓輔石川靖彦豊橋技科大ED2023-6 CPM2023-6 SDM2023-23
 [more] ED2023-6 CPM2023-6 SDM2023-23
pp.24-27
SDM, ED, CPM
(共催)
2022-05-27
14:40
ONLINE オンライン開催 反応性スパッタリングによる窒化物誘電体薄膜の堆積とシリコンフォトニクス応用
福島孝晃ホセ ピエドラ ロレンサナ土谷 塁飛沢 健石川靖彦豊橋技科大ED2022-10 CPM2022-4 SDM2022-17
SiNxはSiに比べて熱光学係数が約1桁小さい特長があり、熱的に安定動作する合分波器など、シリコンフォトニクス素子の特性... [more] ED2022-10 CPM2022-4 SDM2022-17
pp.13-16
ED 2021-02-22
13:25
ONLINE オンライン開催 オンチップ検出に向けたグラフェン型表面応力センサの作製と評価
新野 謙上坂淳平坪内麟太郎金森亮人喜種 慎古澤絵里子飛沢 健赤井大輔野田佳子チェ ヨンジュン野田俊彦澤田和明髙橋一浩豊橋技科大ED2020-39
タンパク質等の生体分子などを非標識に検出するセンサとして MEMS 技術により作製された表面応 力センサがある。こ... [more] ED2020-39
pp.5-8
ED 2017-08-09
13:55
東京 機械振興会館 高い波長選択性を持つMEMS光干渉型バイオセンサの製作・評価
高橋利昌飛沢 健豊橋技科大)・三澤宜雄KAST)・瀧 美樹豊橋技科大)・澤田和明高橋一浩豊橋技科大/JSTED2017-28
血液中に含まれるバイオマーカーを非標識かつ高感度に計測することを目的に、MEMS光干渉計を用いたバイオセンサを提案してい... [more] ED2017-28
pp.5-8
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