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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED 2022-04-21
09:50
ONLINE オンライン開催 室温原子層堆積法で作製したZnO-TFTの電気特性のアニール温度および雰囲気依存性
鬼澤尚也吉田一樹齋藤健太郎鹿又健作三浦正範廣瀬文彦山形大ED2022-2
近年では透明である金属酸化物ベースの薄膜トランジスタ(TFT)の技術開発が進められている。我々はナノ薄膜化された酸化物を... [more] ED2022-2
pp.5-8
CPM 2021-03-03
13:00
ONLINE オンライン開催 窒化亜鉛表面でのジメチル亜鉛の吸着と窒化過程の評価
田﨑太一齋藤健太郎吉田一樹鹿又健作三浦正範有馬ボシールアハマンド久保田 繁廣瀬文彦山形大CPM2020-66
 [more] CPM2020-66
pp.42-45
CPM 2021-03-03
15:55
ONLINE オンライン開催 原子層堆積法による酸化亜鉛薄膜作製と薄膜トランジスタの試作
鬼澤尚也曽貝彗斗吉田一樹齋藤健太郎鹿又健作三浦正範有馬ボシールアハンマド久保田 繁廣瀬文彦山形大CPM2020-76
 [more] CPM2020-76
pp.71-73
CPM 2020-02-28
13:45
東京 東京工科大片研BF1プレゼン室
(開催中止,技報発行あり)
室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価
永田一成齋藤健太郎鹿又健作有馬 ボシール アハンマド三浦正範久保田 繁廣瀬文彦山形大CPM2019-92
 [more] CPM2019-92
pp.5-7
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