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SDM 2017-10-26
09:30
宮城 東北大学未来研 [招待講演]ビックデータの活用によるメモリ製造革新 ~ 半導体製造の歩留解析支援システム ~
赤堀浩史東芝メモリ)・中田康太折原良平水岡良彰高木健太郎東芝)・門多健一西村孝治田中祐加子江口英孝東芝メモリSDM2017-55
半導体製造における歩留解析では,製品の品質検査結果と各工程の処理装置履歴から不良の原因装置を特定し,対策に繋げることで生... [more] SDM2017-55
pp.31-33
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