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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, ICD
(共催)
ITE-IST
(連催) [詳細]
2018-08-07
13:40
北海道 北海道大学大学院情報科学研究科 M棟M151 [招待講演]ミニマルファブとメガファブを併用したハイブリッドプロセスによるSOI-CMOSの作製及び電気特性評価
柳 永勛田中宏幸産総研)・古賀和博佐藤和重ミニマルファブ推進機構)・クンプアン ソマワン長尾昌善松川 貴原 史朗産総研SDM2018-30 ICD2018-17
本研究では,ミニマルファブとメガファブを併用したハイブリッドプロセスの開発を行い,ミニマルウエハ(直径12.5 mm)上... [more] SDM2018-30 ICD2018-17
pp.25-30
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