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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
EA, US
(併催)		 2023-12-22
15:20		 福岡 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 (福岡県) ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング
○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65		 Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] US2023-65
pp.53-58
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