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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2021-10-08 15:35 |
ONLINE | オンライン開催 | Pt/Co/CoO/アモルファスTiOx構造における電圧誘起保磁力変化 ○野崎友大・田丸慎吾・甲野藤 真・野﨑隆行・久保田 均・福島章雄・湯浅新治（産総研）  MRIS2021-9 |
近年、磁気抵抗メモリ(MRAM)にも適用可能な低消費電力な書き込みの手段として、電圧による磁気異方性制御(VCMA)効果... [more] | MRIS2021-9 pp.13-16 |
| CPM | 2021-03-03 10:45 |
ONLINE | オンライン開催 | 高濃度ビスマス置換磁性ガーネットスパッタリング膜の磁区構造と乱数生成器への応用 ○中村出海・吉田秋太郎・水戸慎一郎（東京高専） CPM2020-61 |
自己相関のない真の乱数を生成するために，様々な物理乱数生成器が提案されているが，高品質な物理乱数を手軽かつ高速に生成する... [more] | CPM2020-61 pp.22-25 |
| LQE, CPM, ED (共催) |
2020-11-27 14:30 |
ONLINE | オンライン開催 | スパッタ法AlNバッファ層を用いたサファイア基板上へのh-BNの堆積と高温アニールによる結晶性向上 ○形岡遼志・小泉晴比古・岩山 章・三宅秀人（三重大） ED2020-22 CPM2020-43 LQE2020-73 |
六方晶窒化ホウ素(h-BN)は，二次元層状物質で，歪み緩和層や剥離層としての機能が期待されている．従来，h-BNは有機金... [more] | ED2020-22 CPM2020-43 LQE2020-73 pp.83-86 |
| LQE, CPM, ED (共催) |
2020-11-27 15:20 |
ONLINE | オンライン開催 | ナノストライプパターン加工した低転位密度AlNテンプレート上へのMOVPE成長と結晶性評価 ○伊庭由季乃・正直花奈子・窪谷茂幸・上杉謙次郎・肖 世玉・三宅秀人（三重大） ED2020-24 CPM2020-45 LQE2020-75 |
Face-to-face配置でアニールしたスパッタAlNテンプレート（FFA Sp-AlN）に周期300 nmと深さ12... [more] | ED2020-24 CPM2020-45 LQE2020-75 pp.91-94 |
| SDM | 2016-06-29 16:40 |
東京 | キャンパス・イノベーションセンター東京 | TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS2膜の形成 ○大橋 匠・松浦賢太朗（東工大）・石原聖也・日比野祐介・澤本直美（明大）・角嶋邦之・筒井一生（東工大）・小椋厚志（明大）・若林 整（東工大） SDM2016-46 |
層状構造を有するMoS2は薄膜領域において高移動度を有することから，柔軟性や光透過性などを併せ持つ次世代の極微細Comp... [more] | SDM2016-46 pp.75-78 |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 14:45 |
京都 | 京都大学 | GaSnO薄膜の特性評価 ○加藤雄太・西本大樹・松田時宜・木村 睦（龍谷大） EID2014-28 SDM2014-123 |
RFマグネトロンスパッタリング法により組成比の異なる2種類のGaSnO(GTO)薄膜をそれぞれ成膜圧力を変えて作製し、特... [more] | EID2014-28 SDM2014-123 pp.79-82 |
| ED, SDM, CPM (共催) |
2012-05-17 16:45 |
愛知 | 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー | Ga2O3酸素センサの作製と評価 ○以西雅章・山本貴弘・鳥井琢磨（静岡大） ED2012-25 CPM2012-9 SDM2012-27 |
あらまし 近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウムは900... [more] | ED2012-25 CPM2012-9 SDM2012-27 pp.39-42 |
| CPM, SDM, ED (共催) |
2011-05-20 13:25 |
愛知 | 名古屋大学 ＶＢＬ | Ga2O3酸素センサの作製と評価 ○山本貴弘・茅野真也・池田紘基・鈴木嘉文・以西雅章（静岡大） ED2011-27 CPM2011-34 SDM2011-40 |
近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウムは900℃以上で酸素... [more] | ED2011-27 CPM2011-34 SDM2011-40 pp.135-138 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 10:50 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | Ga2O3酸素センサの作製と評価 ○茅野真也・山口直哉・以西雅章（静岡大） ED2010-27 CPM2010-17 SDM2010-27 |
近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウムは900℃以上で酸素... [more] | ED2010-27 CPM2010-17 SDM2010-27 pp.57-60 |
| US | 2009-07-17 13:50 |
神奈川 | 桐蔭横浜大学 | KNbO3エピタキシャル膜の製膜と圧電特性の評価 ○石河睦生・榮西 弘・長谷川智仁・矢澤慶裕・安井伸太郎・山田智明・黒澤 実（東工大）・森田 剛（東大）・舟窪 浩（東工大） US2009-24 |
スパッタリング法を用いて、絶縁体であるSrTiO3基板上に導電性酸化物であるSrRuO3結晶膜を製膜し、SrRuO3上に... [more] | US2009-24 pp.11-13 |
| ED, CPM, SDM (共催) |
2009-05-14 14:45 |
愛知 | 豊橋技科大サテライトオフィス | Ga2O3薄膜の作製と酸素センサ特性の評価 ○茅野真也・堀内郁志・以西雅章（静岡大） ED2009-21 CPM2009-11 SDM2009-11 |
近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウムは900℃以上で酸素... [more] | ED2009-21 CPM2009-11 SDM2009-11 pp.17-20 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 14:50 |
愛知 | 名古屋工業大学 | RFマグネトロンスパッタリング法によるβ-Ga2O3薄膜の生成 ○堀内郁志・以西雅章（静岡大） ED2008-5 CPM2008-13 SDM2008-25 |
近年環境問題に対する関心は年々高まってきている。そのため排気ガスの制御に利用される高温用酸素ガスセンサとして酸化ガリウム... [more] | ED2008-5 CPM2008-13 SDM2008-25 pp.19-22 |
| EE, IEE-IEA (共催) |
2008-05-09 10:00 |
東京 | 機械振興会館 | ECRスパッタ法により作製したLiCoO2正極膜を用いた薄膜型リチウム二次電池の電気化学特性 ○林 政彦・高橋雅也・正代尊久（NTT） |
薄膜型リチウム二次電池用正極膜の新規な作製法として電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマスパッタリング法を用いて、ポス... [more] | EE2008-1 pp.1-6 |
| CPM, EE (共催) |
2007-03-02 13:00 |
東京 | 機械振興会館 | 全固体型薄膜リチウム二次電池の開発 ○林 政彦・高橋雅也・櫻井庸司・正代尊久（NTT） EE2006-64 CPM2006-157 |
全固体型薄膜リチウム二次電池は、RF-IDタグ、ペーパーディスプレイなどの小型・薄型電子機器への搭載が期待されている。本... [more] | EE2006-64 CPM2006-157 pp.15-20 |
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