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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED 2022-12-08
14:10
愛知 12/8 名大,12/9 ウインク愛知(会場は「詳細はこちら」を参照ください) 直流および高周波マグネトロンスパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の測定
大住知暉京大)・長尾昌善産総研)・後藤康仁京大ED2022-53
直流および高周波マグネトロンスパッタ法を用い, 成膜時に導入するガスの窒素流量比を変化させ, 窒素組成の異なる窒化ハフニ... [more] ED2022-53
pp.15-17
ED 2022-12-09
12:05
愛知 12/8 名大,12/9 ウインク愛知(会場は「詳細はこちら」を参照ください) 通常より低い加熱温度でのLaB6熱電子放出およびショットキー放出の電子放出特性
梶田寵太郎岡田風杜田中崇之村田英一六田英治名城大ED2022-64
我々は、ショットキー放出モードで動作し、(1)高輝度と大電流の同時達成、(2)長寿命、(3)安定動作の条件を満たす新しい... [more] ED2022-64
pp.44-46
EE, OME, CPM
(共催)
2021-11-18
16:05
ONLINE オンライン開催 シリコン太陽電池に適応するアルミナパッシベーション膜のケルビン法による特性評価
大石凌也渡邊良祐弘前大EE2021-30 CPM2021-48 OME2021-24
シリコン太陽電池のパッシベーション材料として,近年アルミナが注目されている.アルミナは高い負の固定電荷をもつため,シリコ... [more] EE2021-30 CPM2021-48 OME2021-24
pp.67-71
LQE, CPM, ED
(共催)
2017-11-30
16:40
愛知 名古屋工業大学 自立基板の劈開面に形成したn-GaNショットキー接触の評価 ~ 金属仕事関数依存性 ~
塩島謙次今立宏美福井大)・三島友義法政大ED2017-56 CPM2017-99 LQE2017-69
GaN結晶の劈開性を利用して得たn-GaN自立基板の非極性面(m面)に9種類の金属(Ag, Ti, Cr, W, Mo,... [more] ED2017-56 CPM2017-99 LQE2017-69
pp.33-38
ED 2017-10-26
16:20
宮城 東北大学電気通信研究所本館6階大会議室 炭化タングステンを用いた低仕事関数電界放射陰極に関する研究
山梨遼太郎根尾陽一郎三村秀典静岡大ED2017-42
走査型電子顕微鏡(SEM)において高輝度カソードとして広く用いられているタングステン電界放射陰極(W-FE)は,高価であ... [more] ED2017-42
pp.27-29
ED 2017-10-27
09:30
宮城 東北大学電気通信研究所本館6階大会議室 時間依存密度汎関数法によるカーボン系エミッタのフィールドエミッション電流の計算(第3報)
樋口敏春佐々木正洋山田洋一筑波大ED2017-44
カーボンナノチューブのエミッション電流を時間依存密度汎関数法(TD-DFT)を用いて計算する方法の検討を行っている. フ... [more] ED2017-44
pp.35-38
ED 2016-10-25
13:00
三重 三重大学 新産業創成研究拠点(旧VBL) トリウム被覆されたW電界放射陰極の電流放出特性
山梨遼太郎根尾陽一郎静岡大)・大野輝昭テクネックス工房)・三村秀典静岡大ED2016-43
タングステン電界放射陰極(W-FE)は,タングステン熱放射陰極と比較して放出電子のエネルギー分布が狭く高い輝度を有するカ... [more] ED2016-43
pp.1-4
ED 2016-10-25
15:45
三重 三重大学 新産業創成研究拠点(旧VBL) 時間依存密度汎関数法によるカーボン系エミッタのフィールドエミッション電流の計算(第2報)
樋口敏春佐々木正洋山田洋一筑波大ED2016-48
カーボンナノチューブのエミッション電流を時間依存密度汎関数法(TD-DFT)を用いて計算する方法の検討を行っている. 第... [more] ED2016-48
pp.21-26
ED 2016-10-26
09:55
三重 三重大学 新産業創成研究拠点(旧VBL) Ⅲ族酸化物で修飾したW(100)面からの電子放射 ~ Sc酸化物, Pr酸化物, Nd酸化物による仕事関数低下現象 ~
川久保貴史香川高専)・中根英章室蘭工大ED2016-52
高融点金属の一つであるタングステンは,電子源の材料として用いられている.W(100)面は仕事関数が4.6eVと比較的高い... [more] ED2016-52
pp.41-46
SDM 2016-06-29
13:30
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 SiO2の絶縁破壊と局所陽極酸化を用いた抵抗変化デバイス
角嶋邦之若林 整筒井一生岩井 洋東工大SDM2016-38
高い抵抗比が得られる抵抗変化メモリとしてCeOx膜と界面SiO2層をSi基板に積層した構造を提案する。上部電極への正の電... [more] SDM2016-38
pp.33-36
SDM 2015-10-30
14:30
宮城 東北大学未来研 窒素添加LaB6ターゲットによる低仕事関数LaB6スパッタ薄膜の形成
石井秀和東北大)・高橋健太郎住友大阪セメント)・後藤哲也須川成利大見忠弘東北大SDM2015-81
LaB6薄膜をマグネトロンスパッタ法で形成し,その仕事関数を評価した.LaB6薄膜の仕事関数は,LaB6ターゲット中の窒... [more] SDM2015-81
pp.53-56
ED 2015-10-23
09:25
愛知 名城大学名駅サテライト(MSAT) 時間依存密度汎関数法によるカーボン系エミッタのフィールドエミッション電流の計算 (第1報)
樋口敏春佐々木正洋山田洋一筑波大ED2015-62
カーボンナノチューブのエミッション電流を時間依存密度汎関数法(TD-DFT)を用いて計算する方法の検討を行った. Oct... [more] ED2015-62
pp.41-46
ED 2014-10-21
13:30
北海道 北大エンレイソウ カーボン被覆フィールドエミッタの電子放射モデルの検討(第3報)
樋口敏春佐々木正洋堀江翔太山田洋一筑波大)・松本修二福田茂樹高エネルギー加速器研究機構ED2014-62
コーン型シリコンエミッタにカーボンを被覆することにより,エミッション特性は約2桁向上する.我々はエミッション向上機構の解... [more] ED2014-62
pp.1-6
ED 2013-10-22
16:30
北海道 北海道大学エンレイソウ 希土類酸化物及び遷移金属酸化物で修飾したW電界放射陰極の検討 ~ PEEMとFEMによる検討 ~
中根英章武田紘己室蘭工大)・川久保貴史香川高専ED2013-55
W電界放射陰極の先端に希土類酸化物や遷移金属酸化物を拡散してモノレイヤを形成すると先端のW(100)面の仕事関数が低減し... [more] ED2013-55
pp.19-22
SDM 2013-10-18
10:00
宮城 東北大学未来研 窒素添加LaB6薄膜のデバイス応用に関する検討
前田康貴大見俊一郎東工大)・後藤哲也大見忠弘東北大SDM2013-93
低仕事関数を有するLaB6は,窒素を添加することで酸化耐性が向上することが報告されている.本研究では窒素添加したLaB6... [more] SDM2013-93
pp.27-31
ED 2012-11-19
14:00
大阪 阪大中之島センター カーボン被覆フィールドエミッタの電子放射モデルの検討 (第1報)
樋口敏春佐々木正洋遠藤俊宏堀江翔太山田洋一筑波大)・松本修二福田茂樹高エネルギー加速器研究機構ED2012-54
コーン型シリコンエミッタにカーボンを被覆することにより,エミッション特性は約2桁向上する.我々はエミッション向上機構の解... [more] ED2012-54
pp.1-6
SDM 2012-06-21
12:15
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) (TaC)1-xAlx/HfO2/SiO2ゲートスタックで熱処理温度に対するAl原子の評価
木村将之芝浦工大)・生田目俊秀物質・材料研究機構)・山田博之芝浦工大)・大井暁彦成島利弘知京豊裕物質・材料研究機構)・大石知司芝浦工大
フラットバンド電圧(Vfb)を制御するために、HfO2 MOSキャパシタのゲート電極として低仕事関数なAl原子を導入した... [more]
SDM 2010-11-11
14:40
東京 機械振興会館 [招待講演]金属電極/高誘電率絶縁膜界面の物理を中心としたHigh-k/Metalゲートスタックの実効仕事関数変調機構の理解
細井卓治佐伯雅之喜多祐起奥 雄大有村拓晃北野尚武阪大)・白石賢二山田啓作筑波大)・志村考功渡部平司阪大SDM2010-175
p型電極/高誘電率絶縁膜ゲートスタックでは,電極材料がpoly-Siもしくは金属に関わらず,ソース/ドレイン活性化アニー... [more] SDM2010-175
pp.23-28
ED 2010-10-25
13:25
京都 宇治おうばくプラザ(京都大学) 三フッ化メタンプラズマ処理したシリコン電界放出電子源の表面状態と電子放出特性
後藤康仁遠藤恵介辻 博司京大)・石川順三中部大)・酒井滋樹日新イオン機器ED2010-129
三フッ化メタンプラズマ処理を施したシリコン電界放出電子源の電子放出特性の経時変化の原因を調べる目的で、同じ処理を施したシ... [more] ED2010-129
pp.7-10
SDM 2010-10-21
15:30
宮城 東北大学 Yb混晶化PtSiの仕事関数変調機構
石川純平高 峻大見俊一郎東工大SDM2010-154
極微細CMOSの拡散層における超低コンタクト抵抗の実現を目的として、Yb混晶化によるPtSiの仕事関数変調に関する検討を... [more] SDM2010-154
pp.13-16
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