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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2024-08-01 15:25 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | 多重エコー集約および誘電率の比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数推定法 ○島野耀康・浴田航平・柳谷隆彦（早大）  US2024-24 |
圧電薄膜の電気機械結合係数k2が大きいほどBAWフィルタやSAWフィルタの挿入損失は小さくなり帯域幅も広くなる。圧電薄膜... [more] | US2024-24 pp.37-42 |
| US | 2024-08-02 11:35 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-32 |
BAWフィルタの中でもSMR型共振子はブラッグ反射器を介して基板に固定されているため放熱性があり耐電力性が高いという特長... [more] | US2024-32 pp.75-80 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:30 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
地デジ帯レクテナ応用に向けた広帯域圧電薄膜トランス ○浴田航平・木下紗里那・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 |
今後の通信帯域の増加に伴って、環境電磁波を用いたワイヤレス給電技術は、重要になってくると予想される。本研究では，出力側の... [more] | EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 pp.15-17 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:55 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
電気機械結合係数は、圧電デバイスの性能を決めるうえで重要な評価指標である。本報告では、圧電体固有の電気機械結合係数k33... [more] | EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 pp.18-19 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 16:50 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
ブラッグ反射器共振子は放熱性があり耐電力性が高い。一方でブラッグ反射器の低音響インピーダンス層には主に非晶質のSiO2を... [more] | EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 pp.56-57 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 (福岡県) | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 (静岡県) | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 (沖縄県, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま (広島県) | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま (広島県) | ［ポスター講演］基板付き圧電薄膜のkt2評価における電極面積の影響 ○関 崚・清水祐樹・近藤圭太・柳谷隆彦（早大） US2022-63 |
電気機械結合係数kt2はBAWデバイスの性能を評価する重要なパラメータの一つである。kt2評価にはIEEE standa... [more] | US2022-63 pp.68-73 |
| US | 2022-11-29 14:35 |
富山 | 大学コンソーシアム富山 (富山県) | 100MHz帯の強力超音波による水中の屈折率変化が入射光に与える影響 ○原田裕生（同志社大）・石河睦生（桐蔭横浜大）・稲本脩人・松川真美・小山大介（同志社大） US2022-46 |
高周波超音波トランスデューサは，非破壊検査や生体組織イメージングなど様々な分野で活躍している．しかしこれまでに，液体中に... [more] | US2022-46 pp.17-20 |
| US | 2022-01-25 11:25 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ ○泉 航太・柳谷隆彦（早大） US2021-59 |
弾性表面波(SAW)の送受波によって駆動するトランスバーサル型フィルタは振幅特性と位相特性の独立制御、フォトリソグラフィ... [more] | US2021-59 pp.5-10 |
| US | 2021-01-29 14:15 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | 励起フォノンを用いた簡易Brillouin散乱計測の試み ○西川修平・稲本脩人・上野翔矢・松川真美（同志社大） US2020-59 |
物質中の熱フォノンによるBrillouin散乱光を観測することで、局所領域におけるGHz域の縦波・横波音速を非破壊・非接... [more] | US2020-59 pp.9-14 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス (愛知県) | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
| US | 2018-10-04 11:15 |
宮城 | 東北大学 (宮城県) | 基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～ ○戸塚 誠・柳谷隆彦（早大） US2018-52 |
圧電薄膜を用いたBAW共振子の最終的な性能を決定付けるパラメータとして電気機械結合係数がある．電気機械結合係数(kt2)... [more] | US2018-52 pp.19-24 |
| US | 2018-05-21 15:45 |
東京 | 機械振興会館 (東京都) | 周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子 ○清水貴博・柳谷隆彦（早大） US2018-16 |
近年，移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って，フィルタ搭載数が増加している．その解決策の1つとして，1つのフィルタ... [more] | US2018-16 pp.29-34 |
| US | 2015-10-09 15:50 |
石川 | 金沢工業大学 (石川県) | ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱 ○趙 恩慧・川部昌彦・高柳真司（同志社大）・鈴木雅視・柳谷隆彦（早大）・松川真美（同志社大） US2015-63 |
Brillouin散乱とは，入射したフォトンと物質内の熱的な格子振動であるフォノンとの非弾性衝突により，入射光の周波数が... [more] | US2015-63 pp.27-30 |
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