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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2022-08-04
16:15
北海道 北見工業大学 マグネトロンスパッタ法による炭化ホウ素膜特性への水素ガスの効果
西田竜也谷口 颯佐藤聖能小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・吹留博一東北大)・中澤日出樹弘前大CPM2022-15
炭化ホウ素(B4C)ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタ法によりアモルファスB4C薄膜およびH2を導入して水素化ア... [more] CPM2022-15
pp.14-17
ED, OME
(共催)
2007-09-21
11:25
福岡 九州工業大学 飯塚キャンパス 熱電子励起プラズマスパッタ法による低比抵抗ITO膜形成とそのメカニズム
河野昭彦生地文也九州共立大ED2007-148 OME2007-35
熱電子励起プラズマスパッタ法で作製した非加熱ガラス基板上および加熱(260 ℃)ガラス基板上のITO膜の電気特性を膜厚の... [more] ED2007-148 OME2007-35
pp.25-30
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