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研究会
発表日時
開催地
タイトル・著者
抄録
資料番号
ICD
,
IPSJ-ARC
(連催)
2011-01-20
14:20
神奈川
慶応大学（日吉）
［招待講演］CMOSの超微細化と3Dシステムの統合協調性
○
岡本和也
・
佐藤了平
（
阪大
）
光リソグラフィーの革新により32nm以下の半導体パターンの超微細化が進み，現在1x(nm)トランジスタの議論がされている...
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ICD2010-131
p.29
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