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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
R 2023-06-15
14:40
東京 機械振興会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
CNNを用いた測長SEMの機差要因解析手法の開発
棚橋直哉高田晋太郎日立R2023-8
近年半導体プロセスが微細化し,複数の測長SEM同士の計測値差(機差)をサブナノメートル単位に収めることが求められている.... [more] R2023-8
pp.7-11
R 2022-06-16
14:00
ONLINE オンライン開催 測長SEMにおける装置間機差マッチング管理のための機差要因解析手法の検討
棚橋直哉高田晋太郎日立R2022-6
近年半導体プロセスが微細化し,複数の測長SEMの測長値ばらつき(機差)をサブナノメートル単位に収めることが求められている... [more] R2022-6
pp.1-6
EE 2022-01-28
15:35
ONLINE オンライン開催 フロート充電と部分放電によるリチウムイオン電池の劣化試験及び劣化要因解析
高橋慶多NTTファシリティーズ)・尾宮哲也池澤篤憲東工大)・米村雅雄齊藤高志神山 崇高エネルギー加速器研究機構)・斉藤景一NTTファシリティーズ)・荒井 創東工大EE2021-51
通信バックアップ用にフロート充電されたリチウムイオン電池の劣化メカニズム及び,フロート充電と放電を繰り返した場合の電池寿... [more] EE2021-51
pp.112-116
VLD 2010-03-10
15:00
沖縄 沖縄県男女共同参画センター 電圧および温度変動を考慮した遅延ばらつきモデル構築の一手法
柳川英輝三木陽生福井正博立命館大)・築山修治中大VLD2009-102
微細化の進展に伴い,製造、電源、温度の変動やばらつきに起因するゲート遅延ばらつきが顕在化し,遅延時間を確率的、統計的に扱... [more] VLD2009-102
pp.19-24
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