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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EA, US (併催) |
2024-12-20 13:45 |
大分 | 大分大学 学生交流会館 (大分県) | ［ポスター講演］負性キャパシタ回路に接続した圧電フィルムによる薄板振動制御システム ～ システム安定化のための修正負性キャパシタ回路の適用 ～ ○宮本光介・鮫島俊哉（九大・芸工）  EA2024-67 |
本研究は，負性キャパシタ回路を接続した圧電フィルムによる，薄板の曲げ振動制御システムについて，その遮音壁としての効果を理... [more] | EA2024-67 pp.18-25 |
| US | 2024-08-01 15:25 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | 多重エコー集約および誘電率の比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数推定法 ○島野耀康・浴田航平・柳谷隆彦（早大） US2024-24 |
圧電薄膜の電気機械結合係数k2が大きいほどBAWフィルタやSAWフィルタの挿入損失は小さくなり帯域幅も広くなる。圧電薄膜... [more] | US2024-24 pp.37-42 |
| US | 2024-08-02 11:35 |
島根 | 松江テルサ (島根県) | エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2024-32 |
BAWフィルタの中でもSMR型共振子はブラッグ反射器を介して基板に固定されているため放熱性があり耐電力性が高いという特長... [more] | US2024-32 pp.75-80 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:30 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
地デジ帯レクテナ応用に向けた広帯域圧電薄膜トランス ○浴田航平・木下紗里那・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 |
今後の通信帯域の増加に伴って、環境電磁波を用いたワイヤレス給電技術は、重要になってくると予想される。本研究では，出力側の... [more] | EMT2024-10 MW2024-34 OPE2024-13 EST2024-11 MWPTHz2024-17 pp.15-17 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:55 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
電気機械結合係数は、圧電デバイスの性能を決めるうえで重要な評価指標である。本報告では、圧電体固有の電気機械結合係数k33... [more] | EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 pp.18-19 |
| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 16:50 |
北海道 | 小樽市民会館 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 |
ブラッグ反射器共振子は放熱性があり耐電力性が高い。一方でブラッグ反射器の低音響インピーダンス層には主に非晶質のSiO2を... [more] | EMT2024-19 MW2024-43 OPE2024-22 EST2024-20 MWPTHz2024-26 pp.56-57 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 (福岡県) | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 (静岡県) | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 (沖縄県, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） |
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more] | |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-20 15:15 |
北海道 | 室蘭工業大学 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Brillouin光散乱法によるScAlN薄膜の弾性定数テンソルの測定 ○内田拓希（早大）・市橋隼人（同志社大）・鈴木雅視（山梨大）・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 |
Brillouin光散乱法は、膜厚情報に無依存にTime-of-flight を使わずにGHz帯の超音波速度を測定できる... [more] | EMT2023-20 MW2023-38 OPE2023-20 EST2023-20 MWPTHz2023-16 pp.61-66 |
| EST, MW, EMT, OPE, MWPTHz (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2023-07-21 13:25 |
北海道 | 室蘭工業大学 (北海道, オンライン) （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 ○島野耀康（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大） EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 |
電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの... [more] | EMT2023-56 MW2023-74 OPE2023-56 EST2023-56 MWPTHz2023-52 pp.241-242 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま (広島県) | ［ポスター講演］基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出 ○清水祐樹（早大）・柳谷隆彦（早大/JST） US2022-61 |
スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密集しており、高い急峻性(Q値)が要求される。周波数フィルタの1つである... [more] | US2022-61 pp.56-61 |
| EA, US (併催) |
2022-12-22 16:50 |
広島 | サテライトキャンパスひろしま (広島県) | ［ポスター講演］基板付き圧電薄膜のkt2評価における電極面積の影響 ○関 崚・清水祐樹・近藤圭太・柳谷隆彦（早大） US2022-63 |
電気機械結合係数kt2はBAWデバイスの性能を評価する重要なパラメータの一つである。kt2評価にはIEEE standa... [more] | US2022-63 pp.68-73 |
| US | 2022-11-29 14:35 |
富山 | 大学コンソーシアム富山 (富山県) | 100MHz帯の強力超音波による水中の屈折率変化が入射光に与える影響 ○原田裕生（同志社大）・石河睦生（桐蔭横浜大）・稲本脩人・松川真美・小山大介（同志社大） US2022-46 |
高周波超音波トランスデューサは，非破壊検査や生体組織イメージングなど様々な分野で活躍している．しかしこれまでに，液体中に... [more] | US2022-46 pp.17-20 |
| SDM | 2022-10-19 14:05 |
ONLINE | オンライン開催に変更 (オンライン) | 強誘電体BiFeO3薄膜表面の評価と分析 ○今泉文伸（小山高専） SDM2022-58 |
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス，センサは現在様々な分野で使用されているが，主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] | SDM2022-58 pp.16-19 |
| US | 2021-01-29 14:15 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | 励起フォノンを用いた簡易Brillouin散乱計測の試み ○西川修平・稲本脩人・上野翔矢・松川真美（同志社大） US2020-59 |
物質中の熱フォノンによるBrillouin散乱光を観測することで、局所領域におけるGHz域の縦波・横波音速を非破壊・非接... [more] | US2020-59 pp.9-14 |
| US | 2020-11-05 13:00 |
愛知 | 愛知工業大学 八草キャンパス (愛知県) | 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響 ○冨永卓海・髙柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-43 |
ScAlN薄膜は，AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから，弾性波デバイスへの応用が期待されている．ScAlN... [more] | US2020-43 pp.1-6 |
| SDM | 2020-10-22 15:20 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | 強誘電体薄膜BiFeO3の格子整合とX線構造分析 ○今泉文伸・仲田陸人（小山高専） SDM2020-20 |
強誘電体や圧電材料を用いたデバイス、センサは現在様々な分野で使用されているが、主材料として使われているPb(Zr,Ti)... [more] | SDM2020-20 pp.30-33 |
| US | 2020-09-28 14:25 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス ○木下紗里那（早大/材研）・柳谷隆彦（早大/材研/JST CREST） US2020-35 |
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] | US2020-35 pp.45-50 |
| US | 2020-09-28 14:50 |
ONLINE | オンライン開催 (オンライン) | ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響 ○木原流唯（早大）・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2020-36 |
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] | US2020-36 pp.51-56 |
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