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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| ED | 2017-04-20 15:25 |
宮城 | 東北大学電気通信研究所 本館 ６階 大会議室 | 室温原子層堆積法を用いたSnO2膜作製およびデバイス応用 ○齊藤俊介・野老健太郎・鹿又健作・三浦正範・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  ED2017-5 |
酸化スズ(SnO2)を用いたガスセンサは大半が焼結形であるために、粒径分布による特性のばらつきが生じやすく、また粒径に対... [more] | ED2017-5 pp.17-20 |
| ED | 2015-04-17 09:55 |
宮城 | 東北大通研ナノスピン実験施設 | 加湿酸素プラズマガスを用いた酸化ハフニウム膜の室温原子層堆積の反応機構 ○鹿又健作・大場尚志・パンシラ ポープンブン・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・平原和弘・廣瀬文彦（山形大） ED2015-11 |
我々はtetrakis(ethylmethylamino)hafnium(TEMAH)とプラズマ励起された酸素含有水蒸気... [more] | ED2015-11 pp.53-58 |
| ED | 2014-04-18 09:50 |
山形 | 山形大学工学部百周年記念会館 | プラズマ励起原子層堆積法による室温酸化ハフニウム成膜 ○鹿又健作・大場尚志・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・平原和弘・廣瀬文彦（山形大） ED2014-13 |
我々はtetrakis(ethylmethylamino)hafnium(TEMAH)とプラズマ励起水蒸気を用いたハフニ... [more] | ED2014-13 pp.51-54 |
| CPM | 2013-10-25 09:30 |
新潟 | 新潟大ときめいと | プラズマ励起原子層堆積法による室温酸化チタン成膜 ○鹿又健作・大場尚志・籾山克章・鈴木貴彦・ボシール アハンマド・久保田 繁・平原和弘・廣瀬文彦（山形大） CPM2013-102 |
我々はtetrakis(dimethylamino)titanium(TDMAT)とプラズマ励起水蒸気を用いたチタン酸化... [more] | CPM2013-102 pp.45-48 |
| ED | 2013-04-19 11:10 |
宮城 | 東北大学電通研 片平北キャンパス ナノ・スピン総合研究棟4階 カンファレンスルーム | フレキシブル・ソフトマテリアル上の室温シリカコーティング ○鹿又健作・鈴木貴彦・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大） ED2013-14 |
我々はtris(dimethylamino)silane(TDMAS)とプラズマ励起水蒸気を用いたシリコン酸化膜の室温原... [more] | ED2013-14 pp.55-57 |
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