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講演名
2005-04-22 15:20
MEMS片持梁の疲労特性に関する研究 ~ 実デバイスを用いた加速劣化試験と機械的FIT数の導出 ~
○
島津貴之
・
片山 誠
(
住友電工
)・
磯野吉正
(
立命館大
)
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CPM2005-6
OPE2005-6
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