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講演名
2017-10-26 10:50
ZrO2シード層がHfxZr1-xO2薄膜の強誘電性へ及ぼす効果
○
女屋 崇
(
明大/物質・材料研究機構
)・
生田目俊秀
(
物質・材料研究機構/JST
)・
澤本直美
(
明大
)・
大井暁彦
・
池田直樹
・
知京豊裕
(
物質・材料研究機構
)・
小椋厚志
(
明大
)
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