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講演名
2018-06-25 15:35
酸素ラジカル照射によるAl2O3/SiC MOS界面の改質効果
○
土井拓馬
(
名大
)・
竹内和歌奈
(
愛知工大
)・
坂下満男
(
名大
)・
田岡紀之
(
産総研
)・
中塚 理
・
財満鎭明
(
名大
)
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SDM2018-23
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