| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-06-02 14:20
産業用高出力全固体UVレーザの開発
○桂 智毅・小島哲夫・黒澤満樹・西前順一（三菱電機） |
| 抄録 |
（和） |
電子機器の小型・高機能化を支える高密度プリント配線基板や各種電子材料の微細加工ツールとしてレーザの適用が進んでいる．この中で全固体UVレーザは集光性が高い，多くの材料に対して高い吸収係数を有する，保守性に優れるなどの特徴を有し，製造工程の更なる微細化の要求に応えるレーザとして期待されている．産業用途で要求される高い生産性を可能とするためには，高出力の全固体UVレーザが必要とされる．こうした背景から，当社では高出力全固体UVレーザの開発を実施しており，カスケードMOPA構成により直線偏光でTEM00の出力265Wの全固体QスイッチNd:YAGレーザを開発し，波長変換により繰返し周波数20kHzにおいて，80Wの3倍波(波長355nm)を得た．これは，我々の知る限り世界最高出力の全固体UVレーザである． |
| （英） |
Laser systems have been widely applied in micro machining fields such as VIA drilling. High power all solid-state UV lasers are demanded for more precise machining. We developed an above 250-W linearly polarized TEM00 Q-swiched all-solid state Nd:YAG laser with a MOPA system and obtained 80-W third harmonics(355 nm) at the repetition rate of 20 kHz by the wavelength conversion technique. |
| キーワード |
（和） |
全固体 / UV / 波長変換 / / / / / |
| （英） |
all-solid state / UV / wavelength conversion / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 90, LQE2006-10, pp. 45-47, 2006年6月. |
| 資料番号 |
LQE2006-10 |
| 発行日 |
2006-05-26 (LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
LQE |
| 開催期間 |
2006-06-02 - 2006-06-02 |
| 開催地（和） |
福井大学 |
| 開催地（英） |
University of Fukui |
| テーマ（和） |
量子光学、非線形光学、超高速現象、レーザ基礎、及び一般 |
| テーマ（英） |
Quantum Optics, Non-linear Optics, Ultra-high Speed Phenomenon, Laser Physics |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
LQE |
| 会議コード |
2006-06-LQE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
産業用高出力全固体UVレーザの開発 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
High power all-solid state UV laser for industrial application |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
全固体 / all-solid state |
| キーワード(2)（和/英） |
UV / UV |
| キーワード(3)（和/英） |
波長変換 / wavelength conversion |
| キーワード(4)（和/英） |
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| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
桂 智毅 / Tomotaka Katsura / カツラ トモタカ |
| 第1著者 所属（和/英） |
三菱電機 (略称： 三菱電機)
Mitsubishi Electric (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
小島 哲夫 / Tetsuo Kojima / コジマ テツオ |
| 第2著者 所属（和/英） |
三菱電機 (略称： 三菱電機)
Mitsubishi Electric (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
黒澤 満樹 / Miki Kurosawa / クロサワ ミキ |
| 第3著者 所属（和/英） |
三菱電機 (略称： 三菱電機)
Mitsubishi Electric (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
西前 順一 / Junichi Nishimae / ニシマエ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） |
三菱電機 (略称： 三菱電機)
Mitsubishi Electric (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-06-02 14:20:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
LQE |
| 資料番号 |
LQE2006-10 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.90 |
| ページ範囲 |
pp.45-47 |
| ページ数 |
3 |
| 発行日 |
2006-05-26 (LQE) |