| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-08-25 15:20
高周波駆動法によるMEMSミラードリフトレス化の研究
○根本 成・山口城治・笹倉久仁彦（NTT） |
| 抄録 |
（和） |
光スイッチなどで注目を集めている静電駆動型MEMS（Micro Electro Mechanical System）ミラーの駆動には、通常ＤＣ電圧を駆動電極に印加し制御することが一般的である。しかし、ＤＣ電圧で駆動すると一定の電圧を印加していても角度が時間と共に変化する角度ドリフトが発生する。この現象に対する回避策として、AC電圧を印加する高周波駆動が有効であることが知られているが、その原理や詳細な実験結果は報告されていない。本稿では、MEMSミラーの高周波駆動におけるドリフト抑制原理の解明とミラー駆動に求められるアンプ特性の必要条件について報告する。高周波駆動を用いたMEMSミラーを光スイッチに適用し、特性評価からその有効性を示した。 |
| （英） |
Electrostatic-type Micro Electro Mechanical System (MEMS) mirrors are generally driven by applying DC voltage. However, DC driving, the mirror tilt angle gradually changes even when a constant voltage is applied, which is called mirror tilt angle drift. High-frequency AC voltage driving is known as a solution, but the principles of reducing angle drift or detailed experimental results have not been reported yet. This paper describes the principle of drift-less driving by high-frequency AC voltage and the required characteristics of the amplifier to drive MEMS mirrors. Experimental results show that an optical switch consisting of MEMS mirrors driven by the high-frequency AC voltage drive has a high connection repeatability and a low power fluctuation. |
| キーワード |
（和） |
MEMS / 光スイッチ / チャージ効果 / 角度ドリフト / 高周波駆動 / / / |
| （英） |
MEMS / Optical switch / charging effects / drift / high frequency drive / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 212, EMD2006-46, pp. 113-117, 2006年8月. |
| 資料番号 |
EMD2006-46 |
| 発行日 |
2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
EMD CPM LQE OPE |
| 開催期間 |
2006-08-24 - 2006-08-25 |
| 開催地（和） |
千歳アルカディア・プラザ |
| 開催地（英） |
Chitose Arcadia Plaza |
| テーマ（和） |
光部品・電子デバイス実装技術、一般 |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
EMD |
| 会議コード |
2006-08-EMD-CPM-LQE-OPE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
高周波駆動法によるMEMSミラードリフトレス化の研究 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Study on drift-less MEMS mirror by using high-frequency drive |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） |
光スイッチ / Optical switch |
| キーワード(3)（和/英） |
チャージ効果 / charging effects |
| キーワード(4)（和/英） |
角度ドリフト / drift |
| キーワード(5)（和/英） |
高周波駆動 / high frequency drive |
| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
根本 成 / Naru Nemoto / ネモト ナル |
| 第1著者 所属（和/英） |
日本電信電話株式会社 (略称： NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
山口 城治 / Johji Yamaguchi / ヤマグチ ジョウジ |
| 第2著者 所属（和/英） |
日本電信電話株式会社 (略称： NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
笹倉 久仁彦 / Kunihiko Sasakura / ササクラ クニヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） |
日本電信電話株式会社 (略称： NTT)
Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-08-25 15:20:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
EMD |
| 資料番号 |
EMD2006-46, CPM2006-76, OPE2006-88, LQE2006-53 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.212(EMD), no.213(CPM), no.214(OPE), no.215(LQE) |
| ページ範囲 |
pp.113-117 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2006-08-17 (EMD, CPM, OPE, LQE) |
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