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講演抄録/キーワード
講演名
2006-10-05 16:35
ECR-MBE法によるSi基板上GaN薄膜作製への窒素プラズマが及ぼす影響
○
淀 徳男
・
白石雄起
・
平田清隆
・
富田博之
・
西江紀明
・
堀部裕明
・
岩田圭吾
・
原田義之
(
阪工大
)
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
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(英)
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文献情報
信学技報, vol. 106, no. 269, ED2006-160, pp. 45-49, 2006年10月.
資料番号
ED2006-160
発行日
2006-09-28 (ED, CPM, LQE)
ISSN
Print edition: ISSN 0913-5685
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研究会情報
研究会
ED CPM LQE
開催期間
2006-10-05 - 2006-10-06
開催地(和)
京都大学
開催地(英)
テーマ(和)
窒化物および混晶半導体デバイス
テーマ(英)
講演論文情報の詳細
申込み研究会
ED
会議コード
2006-10-ED-CPM-LQE
本文の言語
日本語
タイトル(和)
ECR-MBE法によるSi基板上GaN薄膜作製への窒素プラズマが及ぼす影響
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Influences of nitrogen plasma on GaN growth on Si substrate by ECR-MBE growth method
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
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キーワード(2)(和/英)
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キーワード(3)(和/英)
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キーワード(7)(和/英)
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キーワード(8)(和/英)
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
淀 徳男
/
Tokuo Yodo
/
ヨド トクオ
第1著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
白石 雄起
/
Yuki Shiraishi
/
シライシ ユウキ
第2著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
平田 清隆
/
Kiyotaka Hirata
/
ヒラタ キヨタカ
第3著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
富田 博之
/
Hiroyuki Tomita
/
トミタ ヒロユキ
第4著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
西江 紀明
/
Norikaki Nishie
/
ニシエ ノリアキ
第5著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
堀部 裕明
/
Hiroaki Horibe
/
ホリベ ヒロアキ
第6著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
岩田 圭吾
/
Keigo Iwata
/
イワタ ケイゴ
第7著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
原田 義之
/
Yoshiyuki Harada
/
ハラダ ヨシユキ
第8著者 所属(和/英)
大阪工業大学
(略称:
阪工大
)
Osaka Institute of Technology
(略称:
Osaka Inst. of Tech.
)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第9著者 所属(和/英)
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第10著者 所属(和/英)
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第21著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第22著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第23著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第24著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第24著者 所属(和/英)
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第25著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第26著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第27著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第27著者 所属(和/英)
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第28著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第29著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第29著者 所属(和/英)
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第30著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第30著者 所属(和/英)
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第31著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第32著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第33著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第34著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第35著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第35著者 所属(和/英)
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第36著者 氏名(和/英/ヨミ)
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第36著者 所属(和/英)
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講演者
第1著者
発表日時
2006-10-05 16:35:00
発表時間
25分
申込先研究会
ED
資料番号
ED2006-160, CPM2006-97, LQE2006-64
巻番号(vol)
vol.106
号番号(no)
no.269(ED), no.270(CPM), no.271(LQE)
ページ範囲
pp.45-49
ページ数
5
発行日
2006-09-28 (ED, CPM, LQE)
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