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講演抄録／キーワード
講演名 2006-11-24 16:30
AlGaN/GaN HFETにおけるAlNパッシベーションの効果
○上野弘明・村田智洋・石田秀俊・上田哲三・上本康裕・田中　毅・井上　薫（松下電器）
抄録 （和） (まだ登録されていません) 
（英） (Not available yet)
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文献情報 信学技報, vol. 106, no. 378, ED2006-183, pp. 39-42, 2006年11月.
資料番号 ED2006-183 
発行日 2006-11-17 (R, ED, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685
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研究会情報
研究会 ED SDM R  
開催期間 2006-11-24 - 2006-11-24 
開催地（和） 中央電気倶楽部 
開催地（英） Central Electric Club 
テーマ（和） 半導体表面・界面制御・評価と電子デバイスの信頼性 
テーマ（英）  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2006-11-ED-SDM-R 
本文の言語 日本語 
タイトル（和） AlGaN/GaN HFETにおけるAlNパッシベーションの効果 
サブタイトル（和）  
タイトル（英） Surface Passivation of AlGaN/GaN HFETs by a Sputtered AlN Thin Film 
サブタイトル（英）  
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第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 上野 弘明 / Hiroaki Ueno / ウエノ ヒロアキ
第1著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） 村田 智洋 / Tomohiro Murata / ムラタ トモヒロ
第2著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 石田 秀俊 / Hidetoshi Ishida / イシダ ヒデトシ
第3著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 上田 哲三 / Tetsuzo Ueda / ウエダ テツゾウ
第4著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） 上本 康裕 / Yasuhiro Uemoto / ウエモト ヤスヒロ
第5著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） 田中 毅 / Tsuyoshi Tanaka / タナカ ツヨシ
第6著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） 井上 薫 / Kaoru Inoue / イノウエ カオル
第7著者 所属（和/英） 松下電器産業株式会社 (略称： 松下電器)
Matsushita Electric Industrial (略称： Panasonic)
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講演者 第1著者 
発表日時 2006-11-24 16:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 R2006-38, ED2006-183, SDM2006-201 
巻番号（vol） vol.106 
号番号（no） no.377(R), no.378(ED), no.379(SDM) 
ページ範囲 pp.39-42 
ページ数 4 
発行日 2006-11-17 (R, ED, SDM) 

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