| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2007-01-26 14:45
［招待講演］ニオブ系単一磁束量子（SFQ）集積回路の製造プロセス
○日高睦夫・永沢秀一・日野出憲治・佐藤哲朗（超電導工学研） |
| 抄録 |
（和） |
超電導工学研究所（SRL）で行っているニオブ系単一磁束量子（SFQ）回路製造プロセスの現状と将来への展望を述べた。現在は臨界電流密度2.5kA/cm2の標準プロセスと10kA/cm2で絶縁層の平坦化を導入したアドバンストプロセスの二つのプロセスでSFQ回路の試作を行っている。このうち標準プロセスはSRLだけでなく、共同研究先にもチップを供給しておりSFQ回路ファンドリーの機能を果たしている。アドバンストプロセス開発により、SFQ回路もCMOS回路と同様に微細化により動作速度が向上するスケーリング則が成り立つことと、平坦化により最新鋭のCMOSプロセス装置の導入が可能なことが示された。これをもとに将来のSFQ回路の集積度と動作速度を議論した。 |
| （英） |
Current status and future prospect of Nb based single-flux-quantum (SFQ) circuit fabrication process in Superconductivity Research Laboratory (SRL) are described. SRL fabricates SFQ circuits using both Standard Process whose critical current density (Jc) is 2.5 kA/cm2 and Advanced process whose Jc is 10 kA/cm2. SFQ chips fabricated by the Standard Process are distributed to not only SRL but also its collaborators such as Nagoya University, Yokohama National University and NICT. Advanced Process showed that clock frequency of SFQ circuits can be scaled with their minimum feature sizes and advanced CMOS fabrication equipment can be introduced to the SFQ circuit fabrication process. We discussed integration level and clock frequency of future SFQ circuits. |
| キーワード |
（和） |
超伝導 / 単一磁束量子（SFQ）回路 / ニオブ / 製造プロセス / / / / |
| （英） |
Superconductor / Single-flux-quantum (SFQ) circuit / Niobium / Fabrication process / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 503, SCE2006-37, pp. 41-44, 2007年1月. |
| 資料番号 |
SCE2006-37 |
| 発行日 |
2007-01-19 (SCE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
SCE |
| 開催期間 |
2007-01-26 - 2007-01-26 |
| 開催地（和） |
超電導工学研究所（東雲) |
| 開催地（英） |
SRL |
| テーマ（和） |
デジタル、一般 |
| テーマ（英） |
Digital electronics, etc |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
SCE |
| 会議コード |
2007-01-SCE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
ニオブ系単一磁束量子（SFQ）集積回路の製造プロセス |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Fabrication Process for Nb-based Single Flux Quantum Circuits |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
超伝導 / Superconductor |
| キーワード(2)（和/英） |
単一磁束量子（SFQ）回路 / Single-flux-quantum (SFQ) circuit |
| キーワード(3)（和/英） |
ニオブ / Niobium |
| キーワード(4)（和/英） |
製造プロセス / Fabrication process |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
日高 睦夫 / Mutsuo Hidaka / ヒダカ ムツオ |
| 第1著者 所属（和/英） |
超電導工学研究所 (略称： 超電導工学研)
Superconductivity Research Laboratory (略称： SRL) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
永沢 秀一 / Shuichi Nagasawa / ナガサワ シュウイチ |
| 第2著者 所属（和/英） |
超電導工学研究所 (略称： 超電導工学研)
Superconductivity Research Laboratory (略称： SRL) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
日野出 憲治 / Kenji Hinode / ヒノデ ケンジ |
| 第3著者 所属（和/英） |
超電導工学研究所 (略称： 超電導工学研)
Superconductivity Research Laboratory (略称： SRL) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
佐藤 哲朗 / Tetsuro Satoh / サトウ テツロウ |
| 第4著者 所属（和/英） |
超電導工学研究所 (略称： 超電導工学研)
Superconductivity Research Laboratory (略称： SRL) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2007-01-26 14:45:00 |
| 発表時間 |
30分 |
| 申込先研究会 |
SCE |
| 資料番号 |
SCE2006-37 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.503 |
| ページ範囲 |
pp.41-44 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2007-01-19 (SCE) |