| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2007-02-16 14:40
連続周波数変調による光コヒーレンス関数合成法を用いた多層表面形状測定法
○欧陽 慧・何 祖源・宋 光容・岸 真人・保立和夫（東大） |
| 抄録 |
（和） |
(まだ登録されていません) |
| （英） |
It is well known that a continuous surface shape can be measured by analyzing the interference between reflections from the surface and from a standard reference mirror. In the case of a multilayered object, however, this technique will be failed due to complicate interference between the reflections from the multi-layer surfaces of the object and from the reference mirror. To solve the problem, we need a method to extract selectively the interference between the reflection from an individual surface and that from the reference mirror. The technique called synthesis of optical coherence function (SOCF) provides a solution. Previously, we employed the SOCF technique with stepwise optical frequency modulation for the application. In this work, we use continuous modulation for SOCF to realize the multilayer surface measurement, which can expectedly provide higher measurement speed.
The visibility of the interference pattern in an interferometer is proportional to the coherence degree of the light source. When using a laser diode as the light source, and modulating its light frequency by directly modulating the injection current with a sinusoidal signal, in the viewpoint of time-averaging, the coherence degree is synthesized into a series of narrow peaks. The interval of the coherence peaks is adjustable by changing the modulation frequency. We use the first coherence peak as the measurement window to select the surface to be measured, and by changing the modulation frequency, we can selectively measure individual surfaces one by one. As one surface is selected, we take the fast Fourier transform (FFT) of the optical intensity of the interference fringe. After the process of filtering and inverse Fourier transform, we obtain a phase map which represents the surface shape. The unevenness is then calculated.
Theoretical analysis and experimental demonstration will be presented. |
| キーワード |
（和） |
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| （英） |
Fast Fourier Transform(FFT) / Synthesis of Optical Coherence Function(SOCF) / Multilayered Surface Shape Measurement / Interference Fringe / Continuous Frequency Modulation / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 532, OPE2006-167, pp. 23-28, 2007年2月. |
| 資料番号 |
OPE2006-167 |
| 発行日 |
2007-02-09 (OPE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
OPE |
| 開催期間 |
2007-02-16 - 2007-02-16 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
光波センシング、光波制御・検出、光計測、ニューロ、一般 |
| テーマ（英） |
Lightwave sensing, control, detection and measurement |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
OPE |
| 会議コード |
2007-02-OPE |
| 本文の言語 |
英語（日本語タイトルあり） |
| タイトル（和） |
連続周波数変調による光コヒーレンス関数合成法を用いた多層表面形状測定法 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Multilayered Surface Shape Measurement by Synthesis of Optical Coherence Function with Continuous Frequency Modulation |
| サブタイトル（英） |
|
| キーワード(1)（和/英） |
/ Fast Fourier Transform(FFT) |
| キーワード(2)（和/英） |
/ Synthesis of Optical Coherence Function(SOCF) |
| キーワード(3)（和/英） |
/ Multilayered Surface Shape Measurement |
| キーワード(4)（和/英） |
/ Interference Fringe |
| キーワード(5)（和/英） |
/ Continuous Frequency Modulation |
| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
欧陽 慧 / Hui Ouyang / オウヨウ ケイ |
| 第1著者 所属（和/英） |
東京大学 (略称： 東大)
The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
何 祖源 / Zuyuan He / |
| 第2著者 所属（和/英） |
東京大学 (略称： 東大)
The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
宋 光容 / Kwang-Yong Song / |
| 第3著者 所属（和/英） |
東京大学 (略称： 東大)
The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
岸 真人 / Masato Kishi / |
| 第4著者 所属（和/英） |
東京大学 (略称： 東大)
The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
保立 和夫 / Kazuo Hotate / |
| 第5著者 所属（和/英） |
東京大学 (略称： 東大)
The University of Tokyo (略称： Univ. of Tokyo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2007-02-16 14:40:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
OPE |
| 資料番号 |
OPE2006-167 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.532 |
| ページ範囲 |
pp.23-28 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2007-02-09 (OPE) |
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