| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2007-05-18 15:15
耐熱性ポリイミド/銅ナノ細線複合膜の作製と導電特性 ○越川 博・前川康成(原子力機構) OME2007-14 |
| 抄録 |
(和) |
ポリイミド膜に450 MeVの$^{129}$Xe$^{23+}$イオンをフルエンス3.0x10$^{3-5}$ ions/cm$^{2}$照射し、次亜塩素酸ナトリウム水溶液を用いて選択的にイオントラックをエッチングすることで孔径0.5-2 $\mu$mのイオン穿孔膜を作製した。電気化学的手法により銅細線を析出させてポリイミド-銅細線複合膜を作製し、4端子測定法による電導率測定により異方導電性を評価した。銅細線が直径2 $\mu$m、フルエンス3.0x10$^{3}$ ions/cm$^{2}$の条件では、銅細線1本の伝導率の計算値16Sとほぼ等しい電導率17Sと、その倍数の34、55Sが得られ銅細線1-3本の電導率と推定された。 |
| (英) |
Polyimide (PI) films were irradiated with 450 MeV $^{129}$Xe$^{23+}$ ions and then etched with sodium hypochlorite solution to form thin pores of 1 $\mu$m diameter. Cu was filled into the pores by electroplating in a copper sulfate solution to form composite films that are embedded with Cu nanowires. On the surface of the membranes, small electrodes were deposited to measure the conductivity of the Cu nanowires. When the ion fluence was 3.0x10$^{5}$ ions/cm$^{2}$, the resistance was too small to estimate the conductivity of Cu nanowires. On the other hand, when the ion fluence was reduced to 3.0x10$^{3}$ ions/cm$^{2}$, the conductance beneath the deposited electrodes took discrete values, corresponding to the individual numbers of nanowires under the electrode. This enabled to estimate the conductivity of Cu nanowires. It was found that the conductivity of Cu nanowires is in good correspondence with the value reported for bulk Cu crystal. |
| キーワード |
(和) |
イオントラック / 電気めっき / 銅ナノ細線 / 複合膜 / 異方導電性 / / / |
| (英) |
ion-track / electroplating / copper nanowire / composite film / anisotropic conductive property / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 107, no. 47, OME2007-14, pp. 25-27, 2007年5月. |
| 資料番号 |
OME2007-14 |
| 発行日 |
2007-05-11 (OME) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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