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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-05-21 14:45 放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作 ～ 1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による ～ ○岸原充佳（岡山県立大）・浮田芳昭・山本成明・内海裕一・太田 勲（兵庫県立大）  MW2007-15 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2007-15 |
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| 抄録 | （和） | 近年，レーザ加工やリソグラフィなどの微細加工技術を活用してマイクロデバイスを実現しようとする研究が盛んである．広くマイクロ波・ミリ波材料としても利用されているテフロン (PTFE) は，良好な絶縁性のため放電加工も適さず，赤外や紫外のレーザ加工も困難である．しかし，放射光を用いれば，厚み1mm以上のテフロンを直接加工 (エッチング) できることが知られている．本報告では，放射光を利用したテフロンの直接加工を行い，表面に金属を蒸着させることで導波管構造の形成を試みている． |
| （英） | Microdevices have recently been developed by various micromachining technologies such as laser cutting, lithography, etc. PTFE is widely used as a microwave and millimeter-wave material. However, it is known that PTFE is too difficult to cut with high precision by conventional machining, or even by laser cutting or electrical discharge machining. It has been reported that PTFE microstructures can be fabricated by direct exposure to synchrotron radiation. In this paper, the SR direct etching of PTFE is introduced and a trial fabrication of millimeter-wave PTFE waveguide by sputter deposition of metal is attempted. | |
| キーワード | （和） | ミリ波 / 導波管 / 放射光エッチング / 導波管ベンド / マイクロデバイス / / / |
| （英） | Millimeter-wave / Waveguide / SR etching / Waveguide bend / Microdevice / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 49, MW2007-15, pp. 17-22, 2007年5月. | |
| 資料番号 | MW2007-15 | |
| 発行日 | 2007-05-14 (MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2007-15 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2007-15 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
| 開催期間 | 2007-05-21 - 2007-05-22 |
| 開催地（和） | 兵庫県立大学 |
| 開催地（英） | University of Hyogo |
| テーマ（和） | マイクロ波技術一般 |
| テーマ（英） | Microwave Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2007-05-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作 |
| サブタイトル（和） | 1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による |
| タイトル（英） | SR Direct Etching of PTFE and Fabrication of Millimeter-Wave PTFE Waveguide |
| サブタイトル（英） | Utilizing Beam Line, BL2 of 1.5 GeV Synchrotron Facility "New SUBARU" |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-wave |
| キーワード(2)（和/英） | 導波管 / Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | 放射光エッチング / SR etching |
| キーワード(4)（和/英） | 導波管ベンド / Waveguide bend |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロデバイス / Microdevice |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岸原 充佳 / Mitsuyoshi Kishihara / キシハラ ミツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浮田 芳昭 / Yoshiaki Ukita / ウキタ ヨシアキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山本 成明 / Sigeaki Yamamoto / ヤマモト シゲアキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内海 裕一 / Yuichi Utsumi / ウツミ ユウイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 太田 勲 / Isao Ohta / オオタ イサオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-05-21 14:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2007-15 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.49 |
| ページ範囲 | pp.17-22 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-05-14 (MW) |
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