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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-08-02 17:10 集中定数型MEMS5ビット移相器 ○橘川雄亮・西野 有・半谷政毅・李 相錫・井上博元・吉田幸久・宮崎守泰（三菱電機）  MW2007-57 OPE2007-44 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2007-57 OPE2007-44 |
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| 抄録 | （和） | 集中定数素子で構成された小形なMEMS 5ビット移相器を開発した．直列インダクタとMEMSスイッチを備えたシャントキャパシタからなる容量切替型移相器を新たに考案し，これを本移相器の下位2ビットに適用した．上位3ビットは，基準状態であるT型HPFと移相状態であるπ型LPFをMEMSスイッチで切替えるHPF/LPF切替型移相器を用いた．さらに，回路を構成する素子を，集中定数のインダクタおよびキャパシタで形成することで，小形化を実現した．試作した集中定数型MEMS 5ビット移相器は，13～15GHzにおいて，通過損失6.8dB以下，RMS移相量誤差8.2°以内の特性をチップサイズ5.1mm×1.2mm(6.12mm2)で得ることができ，本構成の有用性が確認できた． |
| （英） | In this report, a lumped element type MEMS 5-bit phase shifter is described. This MEMS 5-bit phase shifter is composed of switched capacitor type phase shift circuits for lower two bit sections and high pass / low pass type phase shift circuits for higher three bit sections. To downsize the MEMS phase shifter, these phase shift circuits use the lumped element fabricated by micromachining process. The fabricated 5-bit phase shifter performs maximum insertion loss of 6.8dB and RMS phase shift error of 8.2 degrees with die size of 5.1mm×1.2mm(6.12mm2) in Ku-band. | |
| キーワード | （和） | 移相器 / RF-MEMS / / / / / / |
| （英） | PhaseShifter / RF-MEMS / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 172, MW2007-57, pp. 87-92, 2007年8月. | |
| 資料番号 | MW2007-57 | |
| 発行日 | 2007-07-26 (MW, OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2007-57 OPE2007-44 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2007-57 OPE2007-44 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT OPE MW |
| 開催期間 | 2007-08-02 - 2007-08-03 |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ、マイクロ波フォトニクス技術、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2007-08-EMT-OPE-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 集中定数型MEMS5ビット移相器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lumped element type MEMS 5-bit Phase Shifter |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 移相器 / PhaseShifter |
| キーワード(2)（和/英） | RF-MEMS / RF-MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橘川 雄亮 / Yusuke Kitsukawa / キツカワ ユウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西野 有 / Tamotsu Nishino / ニシノ タモツ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 半谷 政毅 / Masatake Hangai / ハンガイ マサタケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 李 相錫 / Sang-Seok Lee / リ サンソク |
| 第4著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井上 博元 / Hiromoto Inoue / イノウエ ヒロモト |
| 第5著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 幸久 / Yukihisa Yoshida / ヨシダ ユキヒサ |
| 第6著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮崎 守泰 / Moriyasu Miyazaki / ミヤザキ モリヤス |
| 第7著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric Corp.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-08-02 17:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2007-57, OPE2007-44 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.172(MW), no.173(OPE) |
| ページ範囲 | pp.87-92 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-07-26 (MW, OPE) |
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